○ 產(chǎn)品介紹
TN-PEC250G-HV碳鎢蒸發(fā)等離子濺射復(fù)合鍍膜儀可進(jìn)行真空蒸碳、真空熱蒸發(fā)和等離子濺射,它也可以在高純氬氣的保護(hù)之下進(jìn)行多種離子處理。通過更換功能套件,設(shè)備可以在多種功能間快速切換,非常適合實(shí)驗(yàn)室制作SEM樣品使用。本儀器裝有機(jī)械泵和分子泵,能夠滿足多種真空度要求,尤其能夠?qū)崿F(xiàn)高真空,能夠有效提高鍍膜質(zhì)量。
○ 適用范圍
實(shí)驗(yàn)室鍍膜使用。
○ 技術(shù)參數(shù)
真空腔體 | 高純石英,鐘罩狀,φ250x340mm |
蒸發(fā)腔體 | 高純石英,鍍罩狀,帶側(cè)面開孔,尺寸φ88x150mm |
等離子濺射腔體 | 高純石英,鍍罩狀,帶側(cè)面開孔,尺寸φ88x150mm |
| 等離子濺射套件 濺射電壓1600V *大電流50mA 靶面尺寸2英寸 工作真空10Pa~20Pa 工作氣氛需通入高純氬氣 |
熱蒸發(fā)鍍膜套件 蒸發(fā)源數(shù)量2個(gè) *大電流100A 工作真空10^-3Pa 工作氣氛不通入任何氣體 樣品臺(tái)直徑φ60mm,可旋轉(zhuǎn) |
|
| 碳蒸發(fā)套件 蒸發(fā)方式碳棒蒸發(fā) *大電流160A 工作真空10^-3Pa 工作氣氛不通入任何氣體 |
真空系統(tǒng) | 產(chǎn)品型號(hào)TN-GZK103-A 分子泵渦輪分子泵 前極泵雙極旋片泵 抽氣速率分子泵:600L/S綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達(dá):5×10E-3Pa 旋片泵:1.1L/S 極限真空5×10E-4Pa 抽氣接口KF40 排氣接口KF16 真空測(cè)量復(fù)合真空計(jì) |
進(jìn)氣系統(tǒng) | 配有手動(dòng)微調(diào)閥,接口為1/4英寸卡套接頭 |
供電要求 | AC 220V 50Hz |
○免責(zé)聲明
本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等),僅供參考。泰諾公司產(chǎn)品在不斷更新,網(wǎng)站內(nèi)容可能由于更新不及時(shí),或許導(dǎo)致所述內(nèi)容與實(shí)際情況存在一定的差異,請(qǐng)與本公司銷售人員聯(lián)系確認(rèn)。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,泰諾公司會(huì)不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知。