此款多功能鍍膜儀是一臺小型臺式鍍膜儀,外形小巧,操作便捷,設(shè)有真空表,濺射電流表等,可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。通過調(diào)節(jié)電離氣體和鍍膜儀參數(shù),可獲得良好的鍍膜效果。由于既可進行等離子鍍膜,又可進行熱蒸發(fā)鍍膜,為廣大客戶所歡迎,并受到好評。
多功能鍍膜儀技術(shù)參數(shù)
型號 | CY-1100X-SPC-16C |
靶材直徑 | 50mm |
樣品臺直徑 | 50mm |
真空腔體尺寸 | φ160*110mm |
真空度 | 10Pa~10-3Pa |
Max電流 | 50mA |
Max設(shè)置時間 | 9999s |
工作電壓 | 直流1600V,可調(diào) |
真空泵 | 雙極旋片真空泵:10—100Pa 渦旋分子泵系統(tǒng):10-3Pa |
電源電壓 | 220V 50Hz |
總功率 | <2000W |
蒸發(fā)鍍膜*高溫度 | 1100℃ |
熱電偶 | S型熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
鎢絲籃 | 2個 |
真空接口 | KF25 |
顯示器 | LCD觸摸屏 |
膜厚監(jiān)測儀(選配) | 電源:DC5V 工作電流400mA 膜厚分辨率:0.0136埃米 膜厚準(zhǔn)確度:±0.05%,取決于過程條件 測量速度:100ms-1s每次,可調(diào) 標(biāo)準(zhǔn)傳感晶體:6MHz石英 |