等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀適用范圍:
掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作,以及非導(dǎo)體材料試驗電極的制作等。
等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀技術(shù)參數(shù):
供電電壓 AC220V,60Hz *大功率 1200W 樣品臺 直徑φ65mm; 與蒸發(fā)源間距可調(diào),調(diào)節(jié)范圍60mm-100mm 真空腔體 材質(zhì):304不銹鋼 O.Dφ168mm x I.Dφ160mm x 210mm *高溫度 1700℃ 熱電偶 B型熱電偶 真空計 電子式真空計 真空系統(tǒng) 前級泵:浦發(fā)MVP030 無油泵 抽速30L/min 次級泵:萊寶TURBOVAC 90iX 抽速90L/s 真空接口 KF40 進氣接口 1/4卡套接頭 整機尺寸 500x350x400mm