特點
1.節(jié)能環(huán)保的設(shè)計
2.高效率的自動功能
3.簡捷的操作界面
4.高分辨低真空觀察
技術(shù)參數(shù)
分辨率 | 4.0nm(加速電壓20kV,高真空模式,二次電子像) |
15.0nm(加速電壓1kV,高真空模式,二次電子) | |
5.0nm(加速電壓20kV,低真空模式,背散射電子像) |
放大倍率 | 底片倍率:6 – 300,000x |
顯示器倍率:16 – 800,000x |
加速電壓 | 0.3-20kV |
低真空可變壓力范圍 | 6-100Pa |
標(biāo)配三軸自動馬達 | |
行程 | X: 0-40mm |
Y: 0-50mm | |
R: 360 ° | |
Z: 5-15mm | |
T: -15- 90° | |
電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍:預(yù)對中鎢燈絲 |
信號檢測系統(tǒng):二次電子探測器;高靈敏度背散射探測器 |
真空系統(tǒng) | 全自動閥門控制抽真空系統(tǒng)/渦輪分子泵:61L/S 1臺 |
機械泵:100L/min 1臺 | |
安全裝置:帶停電、漏電保護的真空保護功能 | |
操作輔助功能 | 電子束旋轉(zhuǎn);動態(tài)聚焦;畫質(zhì)優(yōu)化功能 |
數(shù)據(jù)輸入;2點間測量、角度測量、文字;預(yù)設(shè)倍率; | |
樣品臺位置導(dǎo)航功能(SEM MAP);電子束標(biāo)記 |