| 型號 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉(zhuǎn)換時間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機(jī) | 法國泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù)；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風(fēng)）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機(jī)采用德國EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標(biāo)準(zhǔn)顏色7035） | |||||
| 溫度擴(kuò)展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機(jī)冷卻機(jī)組保養(yǎng)維護(hù)須知
光刻機(jī)冷卻機(jī)組保養(yǎng)維護(hù)須知
如今光刻機(jī)冷卻機(jī)組的使用越來越廣泛，在使用過程中，如何對光刻機(jī)冷卻機(jī)組進(jìn)行保養(yǎng)和維護(hù)，關(guān)系著設(shè)備的使用壽命以及是否能夠提高生產(chǎn)力的關(guān)鍵所在。
對于企業(yè)來說，設(shè)備保養(yǎng)負(fù)責(zé)人應(yīng)該制定每月的定期檢查和保養(yǎng)計劃。其內(nèi)容如下：檢查設(shè)備各個線路連接是否正常，以及電源線是否老化，檢查電源是否缺相。并且要做好檢查結(jié)果，對于有問題的應(yīng)及時上報，并且計劃完善對光刻機(jī)冷卻機(jī)組線路的檢查處理工作。另外在電氣方面，還應(yīng)該觀察和記錄設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)時的電流。
除了定期觀察和記錄運(yùn)轉(zhuǎn)電流之外，還應(yīng)該對系統(tǒng)的壓力和溫度控制進(jìn)行觀察和記錄。做好數(shù)據(jù)記錄和統(tǒng)計工作，能夠通過數(shù)據(jù)對比有效的發(fā)現(xiàn)問題，從而解決問題。
另外在對光刻機(jī)冷卻機(jī)組的電氣檢查之外，還應(yīng)該檢查油位，冷媒系統(tǒng)，循環(huán)水水質(zhì)等。其中較為常見的故障往往出現(xiàn)在循環(huán)水的問題，當(dāng)循環(huán)水的水質(zhì)多時，往往會造成堵塞，此時除了要清理系統(tǒng)內(nèi)水質(zhì)雜志之外，還應(yīng)該更換循環(huán)水。檢查冷媒系統(tǒng)時，應(yīng)該著重檢測冷媒系統(tǒng)的量是否充足。
企業(yè)對于操作光刻機(jī)冷卻機(jī)組的人員應(yīng)該進(jìn)行培訓(xùn)工作，應(yīng)該讓員工在通讀光刻機(jī)冷卻機(jī)組說明書的前提下讓其上崗。并且在學(xué)習(xí)中，應(yīng)著重對其進(jìn)行光刻機(jī)冷卻機(jī)組的保養(yǎng)和維護(hù)工作的培訓(xùn)和講解。
如有必要，可以向廠商申請專門的售后服務(wù)人員，來對員工進(jìn)行培訓(xùn)教育。做好對光刻機(jī)冷卻機(jī)組做保養(yǎng)和維護(hù)其實(shí)基本的是要培養(yǎng)員工的保養(yǎng)和維護(hù)的意識，意識有了，然后就是增加員工的執(zhí)行力。做保養(yǎng)維護(hù)工作，重要的是持之以恒，將設(shè)備的故障率降低，就等于創(chuàng)造了效益和價值。
采購中心
