| 型號(hào) | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機(jī) | 法國(guó)泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù)；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風(fēng)）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機(jī)采用德國(guó)EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號(hào)為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標(biāo)準(zhǔn)顏色7035） | |||||
| 溫度擴(kuò)展 | 高溫到 +300℃ | |||||
半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護(hù)保養(yǎng)要細(xì)節(jié)
半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護(hù)保養(yǎng)要細(xì)節(jié)
半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置在長(zhǎng)時(shí)間的使用過程中，也需要對(duì)半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置進(jìn)行必要的檢查和維護(hù)保養(yǎng)，定期維護(hù)有利于半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置制冷效率，同時(shí)也有利于延長(zhǎng)壽命。
1、檢查并且校正半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置溫控器，確保溫控器正常顯示。
2、檢查半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置的冷媒量，如果不夠，需要及時(shí)補(bǔ)充冷媒。
3、對(duì)半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置的整個(gè)電控系統(tǒng)、主機(jī)電路系統(tǒng)做一次徹查，確保正常。
4、試機(jī)運(yùn)行并進(jìn)行總校正，測(cè)試過熱度是否正常，各個(gè)部件有無異常聲音等。
5、清洗半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置的冷凝器/蒸發(fā)器，如果水質(zhì)不是太差的話，建議累積運(yùn)行半年清洗一次。半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行當(dāng)中，會(huì)有很多水雜質(zhì)產(chǎn)生，會(huì)影響制冷效果以及使用壽命等。
6、檢查冷凍油及潤(rùn)滑油系統(tǒng)，如有污染建議對(duì)其進(jìn)行更換，以利壓縮機(jī)更加自如的運(yùn)轉(zhuǎn)。
7、對(duì)半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置壓縮機(jī)馬達(dá)線圈進(jìn)行測(cè)試。
8、檢查并且校正半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置的高、低壓壓力開關(guān)，確定高、低壓壓力在正常范圍內(nèi)。
9、檢查干燥過濾器是否正常，有沒有堵塞，必要時(shí)應(yīng)予以更換全新的干燥過濾器。
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