| 型號 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉(zhuǎn)換時間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機 | 法國泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導出 | |||||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、冷凍機過載保護；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風機采用德國EBM軸流風機 | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標準顏色7035） | |||||
| 溫度擴展 | 高溫到 +300℃ | |||||
半導體晶圓快速冷卻裝置開機運轉(zhuǎn)注意事項
半導體晶圓快速冷卻裝置開機運轉(zhuǎn)注意事項
操作人員在使用半導體晶圓快速冷卻裝置時，應當在開機前做好一些準備工作，這樣可以避免由于非正常條件下啟動引起的半導體晶圓快速冷卻裝置故障報警。
操作半導體晶圓快速冷卻裝置開機時應當注意以下幾點：
1、一般壓縮機等部件的電壓范圍是不允許超過額定電壓的范圍，如果機組在運行時出現(xiàn)電壓不穩(wěn)定或是缺相等故障，嚴重的會造成壓縮機、水泵等電機部件燒毀。所以檢查半導體晶圓快速冷卻裝置的供電電壓值是否與設(shè)備標示的電壓、頻率一致是非常重要的，另外還需要檢查半導體晶圓快速冷卻裝置電控部分如接觸器、傳感器等部件的接線是否牢固。
2、檢查完電控系統(tǒng)、水循環(huán)系統(tǒng)，還需要檢查制冷系統(tǒng)，這里一般是查看半導體晶圓快速冷卻裝置上的高壓壓力表和低壓壓力表，通過上面顯示的壓力值我們可以判定半導體晶圓快速冷卻裝置的制冷劑及系統(tǒng)是否正常，如果出現(xiàn)壓力值為零或是高低壓超出正常范圍，那就需要排查故障后再啟動半導體晶圓快速冷卻裝置。
3、我們檢查完半導體晶圓快速冷卻裝置的電路以后，還要檢查水路系統(tǒng)（可能包含冷卻水系統(tǒng)、冷凍水系統(tǒng)以及供水水源等）是否運轉(zhuǎn)正常，如水循環(huán)管路上的閥門是否已經(jīng)打開等等。
4、確保半導體晶圓快速冷卻裝置的長期穩(wěn)定運行需要操作人員更多地了解半導體晶圓快速冷卻裝置的相關(guān)知識，如部件構(gòu)成及運行原理、規(guī)范操作流程和保養(yǎng)知識等等，當然如果能有專人來負責操作和維護那樣就更好了。
設(shè)備操作人員應當仔細閱讀半導體晶圓快速冷卻裝置的使用說明以及半導體晶圓快速冷卻裝置廠家所提供的技術(shù)培訓內(nèi)容，按步驟操作及維護保養(yǎng)半導體晶圓快速冷卻裝置，這樣才能確保半導體晶圓快速冷卻裝置穩(wěn)定地運行。
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