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PECVD沉積系統(tǒng)

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公司名稱邁可諾技術(shù)有限公司
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廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2021/1/6 13:34:18
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邁可諾技術(shù)（Mycro Technologies）是一家面向大中華及東南亞地區(qū)（包括中國(guó)、香港、澳門(mén)、中國(guó)臺(tái)灣、新加坡、馬來(lái)西亞、越南等地）科研院所和企業(yè)研發(fā)中心的研究人員，提供歐美日韓實(shí)驗(yàn)室設(shè)備、耗材和的專業(yè)供應(yīng)商。

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PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)--等離子體增強(qiáng)化學(xué)的氣相沉積PECVD：是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來(lái)促使反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD).

PECVD沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

PECVD ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ) -- 等離子體增強(qiáng)化學(xué)的氣相沉積

PECVD：是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來(lái)促使反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD).