詳細(xì)介紹
產(chǎn)品介紹
小型等離子清洗機(jī)TS-PL30MA產(chǎn)品參數(shù):
名稱(chēng) | 小型真空等離子清洗機(jī)TS-PL30MA |
設(shè)備外形尺寸 | W650×D750×H1500(mm) |
腔體尺寸 | W300xD350xH300(mm) |
腔體容量 | 30升 |
電極板數(shù)量 | 3層 |
電極固定方式 | 插拔可拆卸 |
等離子電源 | 13.56MHz/300W |
工作真空度 | 30Pa以內(nèi) |
腔體溫度 | 常溫 |
反應(yīng)氣體 | 2路,(氧氣、氬氣、氮?dú)獾确歉g性氣體) |
等離子清洗機(jī)的基本構(gòu)造:
根據(jù)用途的不同,可選用多種構(gòu)造的等離子清洗設(shè)備,并可通過(guò)選用不同種類(lèi)的氣體,調(diào)整裝置的特征參數(shù)等方法使工藝流程實(shí)現(xiàn)化。 但等離子體清洗裝置的基本結(jié)構(gòu)大致是相同的, 一般裝置可由真空室、真空泵、高頻電源、電 極、氣體導(dǎo)入系統(tǒng)、工件傳送系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等 部分組成。通常使用的真空泵是旋轉(zhuǎn)油泵,高頻電源通常用13.56 MHz的無(wú)線電波。
等離子清洗機(jī)工作原理:
等離子清洗是依靠特定物質(zhì)等離子體中的高 能粒子流沖擊需要清潔的物體表面,產(chǎn)生物理沖擊(如氬等離子體)或化學(xué)反應(yīng)(氧等離子體)來(lái)實(shí) 現(xiàn)去除物體表面污漬的功能。目前,大多數(shù)等離子 清洗系統(tǒng)通過(guò)降低反應(yīng)倉(cāng)的壓力到 100 Pa 以下, 然后以一定的速度通入合適的氣體并啟動(dòng)電源來(lái)獲得等離子體。
等離子清洗的技術(shù)特點(diǎn)是,它不分 處理對(duì)象,可處理不同的基材。無(wú)論是金屬、半 導(dǎo)體、氧化物還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯 乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚脂、環(huán)氧樹(shù) 脂等高聚物)都可用等離子體很好地處理。因此, 特別適合不耐熱和不耐溶劑的基底材料。而且還可 以有選擇地對(duì)材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部 分清洗。 在完成清洗去污的同時(shí),還能改變材料本身的表面性能。如提高表面的潤(rùn)濕性能,改善 膜的附著力等,這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。