詳細介紹
產(chǎn)品介紹
小型射頻等離子清洗機TS-PL10MA產(chǎn)品參數(shù):
名稱 | 小型射頻等離子清洗機TS-PL10MA-S |
控制方式 | PLC+觸摸屏 |
供電電源 | AC220V(±10V)50/60Hz |
整機功率 | 1.5KW(含真空泵) |
等離子源功率 | 300W(0-300連續(xù)可調(diào)) |
等離子源頻率 | 13.56MHz,自動阻抗匹配 |
清洗時間 | 1-9999s 可調(diào) |
真空度 | <80Pa |
工藝氣體 | 二路工藝氣體 |
外形尺寸(mm) | 500mm ×550mm ×750mm(長×寬×高) |
小型射頻等離子清洗機TS-PL10MA產(chǎn)品特點:
的密封性腔體:采用進口316不銹鋼腔體,級的高真空度真空腔體設(shè)計及制造工藝。
高密度等離子電源技術(shù):采用進口等離子電源電路技術(shù),確保出眾的清洗效果。
放電技術(shù):特殊處理的放電裝置,確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體。
高精度氣體流量監(jiān)測系統(tǒng):兩種工藝氣體配置(氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體),雙路氣流控制,比例可調(diào),采用MFC質(zhì)量流量計、氣體管路及閥件。
優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品部件:產(chǎn)品部件采用國內(nèi)外優(yōu)質(zhì)品牌,確保設(shè)備性能*。
數(shù)字計時單元:1-9999s選擇范圍時間顯示,處理過程結(jié)束后自動終止。
適用形狀復雜樣品:清洗各種復雜形狀的產(chǎn)品,包括內(nèi)孔內(nèi)壁,均勻清洗。
處理全程無污染 :等離子清洗機本身是很環(huán)保的設(shè)備,無產(chǎn)生任何污染,處理過程也無產(chǎn)生任何污染。
等離子體清洗設(shè)備的基本構(gòu)造:
根據(jù)用途的不同,可選用多種構(gòu)造的等離子清洗設(shè)備,并可通過選用不同種類的氣體,調(diào)整裝置的特征參數(shù)等方法使工藝流程實現(xiàn)化。 但等離子體清洗裝置的基本結(jié)構(gòu)大致是相同的, 一般裝置可由真空室、真空泵、高頻電源、電 極、氣體導入系統(tǒng)、工件傳送系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等部分組成。通常使用的真空泵是旋轉(zhuǎn)油泵,高頻電源通常用13.56 MHz的無線電波。設(shè)備的運行過程如下:
(1 )被清洗的工件送入真空室并加以固定, 啟動運行裝置,開始排氣,使真空室內(nèi)的真空程度達到10 Pa 左右的標準真空度。一般排氣時間大約需要 2 min。
(2 )向真空室引入等離子清洗用的氣體,并使其壓力保持在100Pa。 根據(jù)清洗材質(zhì)的不同,可分別選用氧氣、氫 氣、氬氣或氮氣等氣體。
(3 )在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加 高頻電壓,使氣體被擊穿,并通過輝光放電而發(fā) 生離子化和產(chǎn)生等離子體。讓在真空室產(chǎn)生的等離子體籠罩住被處理工件,開始清洗作業(yè)。一 般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾分鐘。
(4 )清洗完畢后切斷高頻電壓,并將氣體及氣化的污垢排出,同時向真空室內(nèi)鼓入空氣,并使氣壓升至一個大氣壓。