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THERMOVAC 變送器 真空計 TTR 911 N、TTR 911 N S、TTR 911 N C、 TTR 911 N SC

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質代理商

所  在  地無錫市

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更新時間:2024-09-12 07:17:11瀏覽次數(shù):160次

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產(chǎn)品簡介

說明nbsp;nbsp;TTR 911 N nbsp;THERMOVAC 系列真空變送器可提供從nbsp;5×10-5nbsp;到nbsp;1000 毫巴的較大測量范圍,基于對nbsp;MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導性的測量結果。nbsp;nbsp;配備nbsp;RS232 數(shù)字通信接口nbsp;(P/N: 89660V02) 或nbsp;EtherCAT 數(shù)字通信接口nb......

詳細介紹

說明

TTR 911 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 1000 毫巴的較大測量范圍,基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導性的測量結果。

配備 RS232 數(shù)字通信接口 (P/N: 89660V02) EtherCAT 數(shù)字通信接口 (P/N: 230700V02、230701V02) 的變送器版本可設置變送器參數(shù),并可提供實時壓力測量結果。更多詳情,請參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232) 300544664 (EtherCAT)。配備集成式觸屏顯示器 (P/N: 8965402、89656V029) 的變送器版本能夠監(jiān)控基本的變送器參數(shù)。更多詳情,請參閱第 6.4 章。

TTR 911 N THERMOVAC 變送器用途廣泛,可用作獨立裝置,或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01230681V01、230682V01) Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025) 所有 THERMOVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display Center 控制器。

每臺變送器在出廠前已逐臺進行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外,每個變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補償。

變送器擁有多達三個機械繼電器,這些繼電器可用于過程控制,例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設備,用于獲取壓力讀數(shù),或進行壓力控制。

傳感器技術

變送器具備單獨的 MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械系統(tǒng))) 傳感器元件,元件測量基于熱傳導性。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片,其構成空腔的一個表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀,空腔內(nèi)無法進行對流,因此,傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴散,氣體分子只到達熱元件,在此處可測量氣體的熱損耗。傳感器元件極為堅固耐用,可承受較高重力和瞬間空氣涌入。

應用

變送器可用于眾多不同領域的真空應用中,如:工業(yè)應用、研發(fā)、半導體、分析和涂料工業(yè)中:

· 一般真空壓力測量

· 前級管道和粗抽壓力測量

· 氣體回填測量和控制

· 質譜儀控制

· 啟動超高真空電離 (UHV) 規(guī)

· 系統(tǒng)過程控制

· 檢測異常壓力,利用繼電器設定點采取妥當?shù)陌踩胧?/span>

· 控制系統(tǒng)壓力

P/N: 89656V02 230701V02 含有 Parylene-HT®涂層傳感器。

Parylene-HT®是保形涂層,氣體阻隔性,不釋氣。與標準 MEMS Pirani 相比,Parylene-HT®涂層傳感器對各種腐蝕性氣體的耐受性更強。涂層覆蓋整個傳感器芯片,包括接線。因此,暴露于處理氣體的材料只有 Parylene-HT®涂層。 如需更多詳情,請聯(lián)系應用支持部門。

廢棄處理

TTR 911 N 變送器是根據(jù) RoHS (在電子電氣設備中限制使用某些有害物質) 指令制造的。


技術數(shù)據(jù)

測量原理: 熱傳導性依據(jù) MEMS Pirani 傳感器而定

測量范圍 (N2 和空氣): 5×10-5 1000 毫巴






精確度(1) (N2):

5×10-4 1x10-3 毫巴:

誤差是讀數(shù)的

±10%



1×10-3 100 毫巴:

誤差是讀數(shù)的

±5%



100 1000 毫巴:

誤差是讀數(shù)的

±25%



重復性(1) (N2):

1×10-3 100 毫巴:

誤差是讀數(shù)的

±2%



電源電壓:

9-30 伏直流


功耗:

< 1.2


熔絲 (熱可恢復):

200 毫安


模擬輸出 (100 歐阻抗):

0.61-10 伏直流,Log. 1.286 伏直流/十進制


模擬輸出分辨率:

16


模擬輸出更新率:

16 赫茲


傳感器故障,模擬輸出:

0.5





材料暴露于真空(2):



P/N: 89654V02、89660V02230700V02:

304 號不銹鋼、密封材料 FPM


P/N: 89656V02、230701V02:

304 號不銹鋼、密封材料 FPM、Parylene-HT®





機械設定點繼電器:



P/N: 89660V02:

3


P/N: 89654V0289656V02:

2





設定點繼電器范圍:

2×10-4 1000 毫巴


設定點繼電器觸點額定值:

1 /30 伏直流/交流 (電阻性負載)


設定點繼電器響應時間:

< 100 毫秒


設定點繼電器觸點電阻:

100 毫歐 ()


設定點繼電器觸點耐久性:

100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負載)


設定點繼電器觸點耐久性:

2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負載)





軟件設定點繼電器:



P/N: 230700V02、230701V02:

2



數(shù)字接口循環(huán)時間

1 毫秒



內(nèi)部容積:

KF16:

2.80 厘米3





外殼材質:

304 號不銹鋼



重量:



P/N: 89654V02、89656V02:

292


P/N: 89660V2:

168


P/N: 230700V02230701V02:

338



允許壓力:

6


運行溫度:

0 40 °C (32 104 °F)


烘烤溫度 (電源關閉):

85 °C (185 °F)


燈絲溫度:

超過室溫 35 °C


異物防護等級:

IP40


泄漏速率:

< 5?0-9 毫巴?/


(1) 精確度和重復性數(shù)值是零位調整后在室溫氮氣氛下測得的典型數(shù)值。

(2) 如需暴露于處理氣體的所有材料的完整列表,請聯(lián)系LEYBOLD。


Parylene-HT®Specialty Coating Systems, Inc 的商標。


配件和備件編號


零件

產(chǎn)品號

TTR 911 N,DN16 KFDisplay,2SP

89654V02

TTR 916 N CDN16 KFDisplay,2SP

89656V02

TTR 911 NDN16 KF,RS232

89660V02

TTR 911 N,DN16 KF,EtherCat

230700V02

TTR 911 N CDN16 KF,EtherCat

230701V02

備用傳感器 TTR 911 N/TTR 916 NDN16 KF

230650V02

備用傳感器 TTR 911 N C/TTR 916 N C,DN16 KF

230651V02



Display 1

230001

Display 2

230024

Display 3

230025



Graphix 1

230680V01

Graphix 2

230681V01

Graphix 3

230682V01



A 型電纜,5

12426

A 型電纜,10

230012

A 型電纜,15

12427

A 型電纜,20

12428

A 型電纜,30

12429

A 型電纜,50

12431

A 型電纜,75

12432

A 型電纜,100

12433



螺旋管 DN 16 ISO-KF

230082



定心環(huán) (1.4305 號不銹鋼),含 O 型環(huán),DN16 KF

88346

定心環(huán) (不銹鋼),含燒結金屬過濾器,DN16 KF

88351

卡環(huán) (),DN16 KF

18341

定心環(huán),含細濾器 DN16 KF

88396

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