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THERMOVAC 變送器真空計 TTR 101 N 、TTR 101 N S

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更新時間：2024-09-12 07:14:53瀏覽次數(shù)：140次

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安博元科技無錫有限公司

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產(chǎn)品簡介

說明nbsp;nbsp;TTR 101 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從nbsp;5×10-5nbsp;到nbsp;1500 毫巴的較大測量范圍，基于對nbsp;MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性和壓電傳感器中硅膜的機(jī)械偏轉(zhuǎn)的測量結(jié)果。nbsp;nbsp;配備nbsp;RS232 數(shù)字通信接口nbsp;(P/N: 230366V02) 和nbsp;EtherCA......

詳細(xì)介紹

說明

TTR 101 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 到 1500 毫巴的較大測量范圍，基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性和壓電傳感器中硅膜的機(jī)械偏轉(zhuǎn)的測量結(jié)果。

配備 RS232 數(shù)字通信接口 (P/N: 230366V02) 和 EtherCAT 數(shù)字通信接口 (P/N: 230702V02) 的變送器版本可設(shè)置變送器參數(shù)，并可提供實(shí)時壓力測量結(jié)果。更多詳情，請參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配備集成式觸屏顯示器 (P/N: 230354V02、230355V02、230356V02) 的變送器版本能夠監(jiān)控基本的變送器參數(shù)。更多詳情，請參閱第 0 章。

TTR 101 N THERMOVAC 變送器用途廣泛，可用作獨(dú)立裝置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。所有 THERMOVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。

每臺變送器在出廠前已逐臺進(jìn)行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外，每個變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補(bǔ)償。

變送器擁有多達(dá)三個機(jī)械繼電器，這些繼電器可用于過程控制，例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備，用于獲取壓力讀數(shù)，或進(jìn)行壓力控制。

傳感器技術(shù)

變送器含有兩個獨(dú)立的傳感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機(jī)械系統(tǒng))) 傳感器元件基于熱傳導(dǎo)性的測量結(jié)果。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片，其構(gòu)成空腔的一個表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀，空腔內(nèi)無法進(jìn)行對流，因此，傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴(kuò)散，氣體分子只到達(dá)熱元件，在此處可測量氣體的熱損耗。

壓電傳感器基于相對于集成式參考真空的硅膜機(jī)械偏轉(zhuǎn)測量結(jié)果。壓電傳感器獨(dú)立于氣體成分和濃度來測量真實(shí)的壓力。

這兩個傳感器元件都極為堅(jiān)固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。

更多信息請聯(lián)系萊寶：安博元科技 info

變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中，如：工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:

· 真空鎖壓力控制

· 一般真空壓力測量

· 前級管道和粗抽壓力測量

· 氣體回填測量和控制

· 質(zhì)譜儀控制

· 啟動超高真空電離 (UHV) 規(guī)

· 系統(tǒng)過程控制

· 檢測異常壓力，利用設(shè)定點(diǎn)繼電器采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?/span>

· 控制系統(tǒng)壓力

技術(shù)數(shù)據(jù)

測量原理: 熱傳導(dǎo)性依據(jù) MEMS Pirani 傳感器而定

壓電傳感器中硅膜的機(jī)械偏轉(zhuǎn)

P/N: 230350V02、230351V02、230352V02、230353V02、230354V02、230355V02、230356V02:

測量范圍 (N2 和空氣): 5×10-5 至 1500 毫巴

精確度 (1) (N2): 5×10-4 至 1x10-3 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±10%

1×10-3 至 11 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±5%

11 至 1333 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±0.75%

1333 至 1500 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±2%

重復(fù)性 (1) (N2): 1×10-3 至 11 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±2%

11 至 1067 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±0.2%

P/N: 230366V02、230702V02:

測量范圍 (N2 和空氣): 5×10-5 至 1500 毫巴

精確度 (1) (N2): MEMS Pirani: 5×10-4 至 1x10-3 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±10%

1×10-3 至 100 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±5%

100 至 1000 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±25%

壓電值: 0.1 至 10 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±1% ±0.5 毫巴

10 至 1333 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±0.75%

1333 至 1500 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±2%

重復(fù)性 (1) (N2): MEMS Pirani: 1x10-3 至 100 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±2%

壓電值: 10 至 1067 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±0.2%

電源電壓: 9-30 伏直流

功耗: < 1.2 瓦

熔絲 (熱可恢復(fù)): 200 毫安

模擬輸出: 0.61-10.23 伏直流，Log 1.286 伏直流/十進(jìn)制

模擬輸出分辨率: 16 位

模擬輸出阻抗: 100 歐

模擬輸出更新率: 16 赫茲

傳感器故障，模擬輸出: 0 伏

機(jī)械設(shè)定點(diǎn)繼電器:

P/N: 230350V02、230351V02、230354V02、230355V02: 0

P/N: 230352V02、230353V02、230356V02: 2

P/N: 230366V02: 3

設(shè)定點(diǎn)繼電器范圍: 2×10-4 至 1300 毫巴

設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)額定值: 1 安/ 30 伏直流/交流 (電阻性負(fù)載) 設(shè)定點(diǎn)繼電器響應(yīng)時間: < 100 毫秒設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)電阻: 100 毫歐 (值) 設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性: 100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負(fù)載)

設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性: 2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負(fù)載)

軟件設(shè)定點(diǎn)繼電器:

P/N: 230702V02: 2

響應(yīng)時間: < 20 毫秒

數(shù)字接口循環(huán)時間: 1 毫秒

暴露在真空中的材料 (2): 304 號不銹鋼，密封材料 FPM

內(nèi)部容積: KF16 法蘭 2.8 厘米3

NPT 1/8" 3.1 厘米3

外殼材質(zhì): 304 號不銹鋼

法蘭材質(zhì): 304 號不銹鋼

重量:

P/N: 230350V02、230352V02、230366V02: 168 克

P/N: 230351V02、230353V023: 183 克

P/N: 230354V02、230356V02: 292 克

P/N: 230355V02: 307 克

P/N: 230702V02: 338 克

允許壓力: 3 巴

運(yùn)行溫度: 0 至 40 °C (32 至 104 °F)

烘烤溫度 (電源關(guān)閉): 85 °C (185 °F)

燈絲溫度: 超過室溫 35 °C

濕度: 0 – 95% 非冷凝

異物防護(hù)等級: IP40

泄漏速率: < 5?10-9 毫巴?升/秒

(1) 精確度和重復(fù)性是零位調(diào)整后在室溫氮?dú)夥障聹y得的典型數(shù)值。 (2) 如需暴露于處理氣體的所有材料的完整列表，請聯(lián)系 Leybold。

零件	產(chǎn)品號
TTR 101 N，DN16KF	230350V02
TTR 101 N，1/8" NPT	230351V02
TTR 101 N，DN16 KF，2SP	230352V02
TTR 101 N，1/8" NPT，2SP	230353V02
TTR 101 N，DN16 KF，Display	230354V02
TTR 101 N，1/8 NPT，Display	230355V02
TTR 101 N，DN16 KF，Display，2SP	230356V02
TTR 101 N，DN16 KF，RS232，3SP	230366V02
TTR 101 N，DN16 KF，EtherCat	230702V02
備用傳感器，TTR 101 N，DN16 KF	230361V02
備用傳感器，TTR 101 N，1/8" NPT	230362V02

Display One	230001
Display Two	230024
Display Three	230025

Graphix One	230680V01
Graphix Two	230681V01
Graphix Three	230682V01

A 型電纜，5 米	12426
A 型電纜，10 米	230012
A 型電纜，15 米	12427
A 型電纜，20 米	12428
A 型電纜，30 米	12429
A 型電纜，50 米	12431
A 型電纜，75 米	12432
A 型電纜，100 米	12433

螺旋管 DN 16 ISO-KF	230082

定心環(huán) (1.4305 號不銹鋼)，含 O 型環(huán)，DN16 KF	88346
定心環(huán) (不銹鋼)，含燒結(jié)金屬過濾器，DN16 KF	88351
卡環(huán) (鋁)，DN16 KF	18341
定心環(huán)，含細(xì)濾器 DN16 KF	88396