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THERMOVAC 變送器 真空計 TTR 101 N 、TTR 101 N S

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更新時間:2024-09-12 07:14:53瀏覽次數(shù):140次

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產(chǎn)品簡介

說明nbsp;nbsp;TTR 101 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從nbsp;5×10-5nbsp;到nbsp;1500 毫巴的較大測量范圍,基于對nbsp;MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性和壓電傳感器中硅膜的機(jī)械偏轉(zhuǎn)的測量結(jié)果。nbsp;nbsp;配備nbsp;RS232 數(shù)字通信接口nbsp;(P/N: 230366V02) 和nbsp;EtherCA......

詳細(xì)介紹

說明

TTR 101 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 1500 毫巴的較大測量范圍,基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性和壓電傳感器中硅膜的機(jī)械偏轉(zhuǎn)的測量結(jié)果。

配備 RS232 數(shù)字通信接口 (P/N: 230366V02) EtherCAT 數(shù)字通信接口 (P/N: 230702V02) 的變送器版本可設(shè)置變送器參數(shù),并可提供實(shí)時壓力測量結(jié)果。更多詳情,請參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232) 300544664 (EtherCAT)。配備集成式觸屏顯示器 (P/N: 230354V02、230355V02、230356V02) 的變送器版本能夠監(jiān)控基本的變送器參數(shù)。更多詳情,請參閱第 0 章。

TTR 101 N THERMOVAC 變送器用途廣泛,可用作獨(dú)立裝置,或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01230682V01) Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。 所有 THERMOVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display Center 控制器。

每臺變送器在出廠前已逐臺進(jìn)行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外,每個變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補(bǔ)償。

變送器擁有多達(dá)三個機(jī)械繼電器,這些繼電器可用于過程控制,例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備,用于獲取壓力讀數(shù),或進(jìn)行壓力控制。

傳感器技術(shù)

變送器含有兩個獨(dú)立的傳感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機(jī)械系統(tǒng))) 傳感器元件基于熱傳導(dǎo)性的測量結(jié)果。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片,其構(gòu)成空腔的一個表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀,空腔內(nèi)無法進(jìn)行對流,因此,傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴(kuò)散,氣體分子只到達(dá)熱元件,在此處可測量氣體的熱損耗。

壓電傳感器基于相對于集成式參考真空的硅膜機(jī)械偏轉(zhuǎn)測量結(jié)果。壓電傳感器獨(dú)立于氣體成分和濃度來測量真實(shí)的壓力。

這兩個傳感器元件都極為堅(jiān)固耐用,可承受較高重力和瞬間空氣涌入。


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變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中,如:工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:

· 真空鎖壓力控制

· 一般真空壓力測量

· 前級管道和粗抽壓力測量

· 氣體回填測量和控制

· 質(zhì)譜儀控制

· 啟動超高真空電離 (UHV) 規(guī)

· 系統(tǒng)過程控制

· 檢測異常壓力,利用設(shè)定點(diǎn)繼電器采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?/span>

· 控制系統(tǒng)壓力


技術(shù)數(shù)據(jù)

測量原理: 熱傳導(dǎo)性依據(jù) MEMS Pirani 傳感器而定

壓電傳感器中硅膜的機(jī)械偏轉(zhuǎn)

P/N: 230350V02、230351V02、230352V02230353V02、230354V02、230355V02、230356V02:

測量范圍 (N2 和空氣): 5×10-5 1500 毫巴

精確度 (1) (N2): 5×10-4 1x10-3 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±10%

1×10-3 11 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±5%

11 1333 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±0.75%

1333 1500 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±2%

重復(fù)性 (1) (N2): 1×10-3 11 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±2%

11 1067 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±0.2%

P/N: 230366V02、230702V02:

測量范圍 (N2 和空氣): 5×10-5 1500 毫巴

精確度 (1) (N2): MEMS Pirani: 5×10-4 1x10-3 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±10%

1×10-3 100 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±5%

100 1000 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±25%

壓電值: 0.1 10 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±1% ±0.5 毫巴

10 1333 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±0.75%

1333 1500 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±2%

重復(fù)性 (1) (N2): MEMS Pirani: 1x10-3 100 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±2%

壓電值: 10 1067 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±0.2%

電源電壓: 9-30 伏直流

功耗: < 1.2

熔絲 (熱可恢復(fù)): 200 毫安

模擬輸出: 0.61-10.23 伏直流,Log 1.286 伏直流/十進(jìn)制

模擬輸出分辨率: 16

模擬輸出阻抗: 100

模擬輸出更新率: 16 赫茲

傳感器故障,模擬輸出: 0

機(jī)械設(shè)定點(diǎn)繼電器:

P/N: 230350V02、230351V02230354V02、230355V02: 0

P/N: 230352V02230353V02、230356V02: 2

P/N: 230366V02: 3

設(shè)定點(diǎn)繼電器范圍: 2×10-4 1300 毫巴

設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)額定值: 1 / 30 伏直流/交流 (電阻性負(fù)載) 設(shè)定點(diǎn)繼電器響應(yīng)時間: < 100 毫秒 設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)電阻: 100 毫歐 () 設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性: 100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負(fù)載)

設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性: 2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負(fù)載)

軟件設(shè)定點(diǎn)繼電器:

P/N: 230702V02: 2

響應(yīng)時間: < 20 毫秒

數(shù)字接口循環(huán)時間: 1 毫秒

暴露在真空中的材料 (2): 304 號不銹鋼,密封材料 FPM

內(nèi)部容積: KF16 法蘭 2.8 厘米3

NPT 1/8" 3.1 厘米3

外殼材質(zhì): 304 號不銹鋼

法蘭材質(zhì): 304 號不銹鋼

重量:

P/N: 230350V02、230352V02、230366V02: 168

P/N: 230351V02、230353V023: 183

P/N: 230354V02、230356V02: 292

P/N: 230355V02: 307

P/N: 230702V02: 338

允許壓力: 3

運(yùn)行溫度: 0 40 °C (32 104 °F)

烘烤溫度 (電源關(guān)閉): 85 °C (185 °F)

燈絲溫度: 超過室溫 35 °C

濕度: 0 95% 非冷凝

異物防護(hù)等級: IP40

泄漏速率: < 5?10-9 毫巴?/

(1) 精確度和重復(fù)性是零位調(diào)整后在室溫氮?dú)夥障聹y得的典型數(shù)值。 (2) 如需暴露于處理氣體的所有材料的完整列表,請聯(lián)系 Leybold。



零件

產(chǎn)品號

TTR 101 N,DN16KF

230350V02

TTR 101 N,1/8" NPT

230351V02

TTR 101 NDN16 KF,2SP

230352V02

TTR 101 N,1/8" NPT,2SP

230353V02

TTR 101 N,DN16 KFDisplay

230354V02

TTR 101 N,1/8 NPT,Display

230355V02

TTR 101 NDN16 KF,Display2SP

230356V02

TTR 101 N,DN16 KFRS232,3SP

230366V02

TTR 101 N,DN16 KFEtherCat

230702V02

備用傳感器,TTR 101 N,DN16 KF

230361V02

備用傳感器,TTR 101 N,1/8" NPT

230362V02



Display One

230001

Display Two

230024

Display Three

230025



Graphix One

230680V01

Graphix Two

230681V01

Graphix Three

230682V01



A 型電纜,5

12426

A 型電纜,10

230012

A 型電纜,15

12427

A 型電纜,20

12428

A 型電纜,30

12429

A 型電纜,50

12431

A 型電纜,75

12432

A 型電纜,100

12433



螺旋管 DN 16 ISO-KF

230082



定心環(huán) (1.4305 號不銹鋼),含 O 型環(huán),DN16 KF

88346

定心環(huán) (不銹鋼),含燒結(jié)金屬過濾器,DN16 KF

88351

卡環(huán) (),DN16 KF

18341

定心環(huán),含細(xì)濾器 DN16 KF

88396






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