多工位晶圓清洗臺(tái) 返回列表頁

多工位晶圓清洗臺(tái)

本設(shè)備型號(hào)：CGB-XXXX—XX系列，品牌：華林嘉業(yè)—CGB。德國(guó)進(jìn)口磁白PP板經(jīng)雕刻后熱彎/焊接組合加工而成。該設(shè)備適用于2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸硅晶圓片的清洗腐蝕1．概述：清洗對(duì)象：晶片/⑴超聲清洗，加熱清洗為單槽定時(shí)控制，到時(shí)給予結(jié)束提示音。⑵工藝過程：上料→支離子水超聲清洗→去離子水加熱清洗→去離子水沖洗→ 下 料2．結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：本設(shè)備為柜體式，操作面帶有透明門窗。⑴槽體材料為德國(guó)進(jìn)口聚丙烯（磁白色PP板），焊口采用SS外包5mm厚德國(guó)磁白色PP板，外型美觀實(shí)用。⑵設(shè)備超聲，加熱清洗時(shí)間由定時(shí)器控制。⑶加熱槽裝有溫控表（pompon）和傳感器。⑷每個(gè)清洗槽互不影響，超聲、沖洗清洗槽的上給水（沖洗清洗槽配有熱水）、下排水為手動(dòng)方式。⑸配有可調(diào)節(jié)式的排風(fēng)裝置。⑹配有美國(guó)進(jìn)口氮?dú)鈽尅?/span> ⑺電控部分采用密封保護(hù)方式配有緊急停機(jī)及報(bào)警裝置。有需求此方面設(shè)備的朋友，咨詢