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型號:CGB-XXXX—XX系列,品牌:華林嘉業(yè)—CGB。該設(shè)備適用于2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸硅晶圓片的清洗腐蝕,一、德國進(jìn)口磁白PP板經(jīng)雕刻后熱彎/焊接組合加工;雙籃/單籃二、槽體結(jié)構(gòu):該槽體實(shí)現(xiàn)腐蝕或后殘留在片子上的化學(xué)液及污染顆粒的沖洗祛除功能。它由安裝在槽體底部的快排閥、DI注入孔(包括氮?dú)夤呐荩┘绊敳孔笥覂蓚?cè)的DI噴嘴實(shí)現(xiàn)槽體的快速注入與排放。三、工藝控制:快排沖洗槽(QDR)的工作過程由獨(dú)立K200型控制器保證。它包括工藝時(shí)間、沖洗次數(shù)設(shè)置、工作完成提示以及過程中的故障報(bào)警、狀態(tài)提示等功能。
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