圖片描述:
Nor-CalProducts的氣動(dòng)線性真空閘閥的真空范圍為1x10-9Torr.Nor-CalProducts氣動(dòng)線性真空閘閥外形纖薄,縮短了氣體通道.其較小的體積可減少放氣并加快抽氣速度.氣動(dòng)線性真空閘閥內(nèi)部和外部均經(jīng)過(guò)電拋光,以提高耐腐蝕性.氣動(dòng)線性真空閘閥可以減輕門打開時(shí)可能產(chǎn)生的振動(dòng),這使得這些閥非常適合半導(dǎo)體和其他對(duì)振動(dòng)敏感的過(guò)程.
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