伯東企業(yè)(上海)有限公司

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2021-10-06 18:50:03250
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上海伯東日本小型Hakuto離子蝕刻機(jī)7.5IBE,適用于科研院所,實(shí)驗(yàn)室研究,干式制程的微細(xì)加工裝置,特別適用于磁性材料,金,鉑及各種合金的銑削加工.Hakuto離子蝕刻機(jī)7.5IBE配置使用美國(guó)KRI8cm考夫曼離子源,蝕刻均勻性:5%,硅片Si刻蝕速率20nm/min,樣品臺(tái):直接冷卻(水冷),0~90度旋轉(zhuǎn),因此射頻角度可......

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