變形鏡
波長范圍 | 122nm-10.6um |
有效直徑 | 10-600mm |
電極/激勵器數(shù) | 600 |
行程 | 40um |
頻率 | 1kHz |
損傷閾值 | 50kW/cm2 或 20J/cm2 |
澤尼克系數(shù) | 24 |
波前傳感器
波長范圍 | 122nm-10.6um |
有效直徑 | 4-600mm |
微透鏡直徑 | 低至150um |
靈敏度 | Lambda/150 rms |
動態(tài)范圍 | 50 Lambda |
頻率 | 2kHz |
軟件 | 實(shí)時顯示哈特曼和波前分析、澤尼克多項(xiàng)式、2D/3D條紋圖、相位圖、光強(qiáng)圖、M2、PSF、波前P-V和RMS |
哈特曼計
哈特曼計用于測量光學(xué)表面平整度,可取代菲佐干涉儀,具有同樣的性能。通過一束激光照射到測量表面,然后用夏克-哈特曼波前傳感器測量反射回的波前。
主要特點(diǎn)是實(shí)時測量,對振動不敏感。
波長范圍 | 122nm-10.6um |
可測口徑 | 沒有限制(擴(kuò)束鏡) |
可測曲率半徑 | 沒有限制(補(bǔ)償光器件) |
準(zhǔn)確度 | Lambda/30 rms |
橫向分辨率 | 孔徑的2/100 |
軟件 | 實(shí)時顯示哈特曼和波前分析、澤尼克多項(xiàng)式、2D/3D條紋圖、相位圖、光強(qiáng)圖、M2、PSF、波前P-V和RMS |
自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)
自適應(yīng)光學(xué)閉循環(huán)系統(tǒng)由變形鏡、波前傳感器及軟件組成,可用于高功率激光、同步輻射光束、天文望遠(yuǎn)鏡、生物顯微鏡等。
軟件實(shí)時顯示哈特曼和波前分析、澤尼克多項(xiàng)式、2D/3D條紋圖、相位圖、光強(qiáng)圖、M2、PSF、波前P-V和RMS;實(shí)時參數(shù)監(jiān)控;實(shí)時顯示鏡片上電壓;測量鏡片電極反應(yīng)函數(shù)等