21800系列閉合回路真空節(jié)流閥
21800系列閉合回路氣動節(jié)流閘閥節(jié)流閥利用標準的 HVA21200系列真空閥門設計外加一個金屬節(jié)流調節(jié)裝置. 這個節(jié)流調節(jié)裝置包括了一個MKS 146C 真空規(guī)格測量和控制系統(tǒng)、歐姆龍模擬型光纖傳感器和放大器、一個氣動壓力控制器和一個超大尺寸的 HVA 壓差執(zhí)行裝置. *的氣缸設計使沖擊和振動減少到小. 這些真空閘閥真空腔內沒有機械鎖,這樣此就非常有益于半導體制造和其他敏感過程要求操作時相對自由振動的. 所有移動的接頭都有硬軸,減少微粒的產生并且使驅動更容易. 這個系統(tǒng)在一個閉合回路中通過監(jiān)測閥門的實際位置和系統(tǒng)的壓力和電導來操作。在壓力/電導模式下, 這個真空閥門開啟或者關閉直到MKS流量或壓力表監(jiān)控到需要的系統(tǒng)達到氣流量. 除了控制閥門, MKS 控制器可以監(jiān)控兩個計量表. 在真實位置模式, 閥門驅動器活塞式被歐姆龍傳感器監(jiān)控的. 傳感器信號發(fā)送到 MKS 控制器, 然后相應的與所需要的閥位到啟動壓力控制器. 壓力控制器控制壓差適用于控制活塞按照要求的方向移動.
21800系列閉合回路真空節(jié)流閥產品特點
1. 節(jié)流控制機構可以無限的從全開到全關變化
2. 不銹鋼焊接波紋管
3. 標準或者定制法蘭
4. 1000000使用周期(視系統(tǒng)而定)
21800系列閉合回路真空節(jié)流閥技術參數
連接形式： | 標準或定制法蘭 |
|---|---|
主體材料： | 不銹鋼 |
公稱通徑： | DN100-DN300 mm |
漏率: | 2x10E-10 AtmCC/Sec |
壓力范圍: | 1x10E-10 Torr |
烘烤溫度: | 《150℃ |
適用介質： | 水、蒸汽、空氣 |
密封形式： | 軟密封型 |
驅動方式： | 氣動 |
使用壽命: | 1000000使用周期 |
21800系列閉合回路真空節(jié)流閥產品應用
這些真空閘閥節(jié)流閥可以和低溫泵,渦輪分子泵,離子泵或者其他要求清潔,高效循環(huán),少量維修保養(yǎng)和緊閉關閉的低漏氣閥門.
21800系列閉合回路真空節(jié)流閥產品部件圖
采購中心
