美國 HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列
美國 HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列特別適合 1x10- 9 mbar 高真空和烘烤溫度不超過 150°C的應(yīng)用。超長使用壽命1,000,000 啟動次數(shù)。清潔和高密封性保證 HVA 進(jìn)口閥門與低溫泵、渦輪分子泵，離子泵等*聯(lián)用。
HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列產(chǎn)品特點(diǎn)
直線驅(qū)動允許使用焊接波紋管來密封驅(qū)動器。*的氣缸設(shè)計(jì)使沖擊和振動減少到小。HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列真空腔內(nèi)沒有機(jī)械鎖，因此特別適合應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和其他要求低振動的敏感加工工業(yè)。所有移動的接頭都有硬軸有效減少微粒的產(chǎn)生并且使驅(qū)動更容易。HVA 不銹鋼閥體真空閘閥提供了真空閥門業(yè)界小的內(nèi)部表面區(qū)域。閥體和所有內(nèi)部部件都是在1100 ℃，1x10E-6 Torr的真空爐中一體釬焊完成，確保了閥門的大完整性。 在保養(yǎng)方面，支架部分可以拆掉而不用把真空閥門從整個系統(tǒng)中拆卸出來。閥門手動、氣動可選，標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭滿足不同應(yīng)用。HVA 標(biāo)準(zhǔn)周期真空閘閥21200 系列可任意位置安裝。電磁閥控制并帶有手動超控。
HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列技術(shù)參數(shù)
閥門材質(zhì)： | |
閥門主體 | 304不銹鋼 |
焊接波紋管軸封 | AM-350 |
驅(qū)動軸和驅(qū)動銷 | 硬質(zhì)不繡鋼 |
密封件 | 氟橡膠 |
真空： | |
壓力范圍 | 1x10-9 mbar |
漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
差壓關(guān)閉 | 1 bar (任意位置) |
開啟前大壓力 | ≤ 30 mbar |
烘烤溫度（不含電磁閥）： | |
佛橡膠密封 | 150 °c |
驅(qū)動方式 | 手動 60 °c;氣動 60 °c |
使用壽命：1,000,000啟閉次數(shù) | |
公稱通徑：DN16-320 mm | |
HVA 百萬周期真空閘閥 21200 產(chǎn)品訂貨號及2D,3D圖展示
DN | Model | KF/ISO-F | ISO-K | CF-F* | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
mm | inch | Number | 3 (Bolted) | 6 (Clamped) | 0 or 4 (Conflat) | |||
16 | 0.625 | 21212-006_ | 2D | 3D | - | 2D | 3D | |
40 | 1.5 | 21212-015_R | 2D | 3D | - | 2D | 3D | |
50 | 2 | 21212-020_R | 2D | 3D | - | 2D | 3D | |
63 | 2.5 | 21212-025_R | 2D | 3D | 2D | 3D | 2D | 3D |
80 | 3 | 21212-030_R | 2D | 3D | 2D | 3D | 2D | 3D |
100 | 4 | 21212-040_R | 2D | 3D | 2D | 3D | 2D | 3D |
160 | 6 | 21212-060_R | 2D | 3D | 2D | 3D | 2D | 3D |
200 | 8 | 21212-080_R | 2D | 3D | 2D | 3D | 2D | 3D |
250 | 10 | 21212-100_R | 2D | 3D | - | 2D | 3D | |
320 | 12 | 21212-120_R | 2D | 3D | - | 2D | 3D | |
HVA 百萬周期真空閘閥 21200 產(chǎn)品部件圖
美國 HVA 真空閥門-美國大真空閥門制造商。美國HVA*真空閥門，超過50年的高真空和超高真空閥門設(shè)計(jì)與制造。主營高真空閘閥，高真空角閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜、激光、科研、工業(yè)等領(lǐng)域。上海伯東是美國HVA 真空閥門在中國地區(qū)總代理商。
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