Q150T ES Plus高真空鍍膜儀

Q150T ES Plus高真空鍍膜儀

Q150T Plus是一款優(yōu)化設(shè)計(jì)的帶渦輪分子泵抽真空的鍍膜儀設(shè)備，真空度可達(dá)5x10^-5mbar。可以濺射具有超細(xì)成膜顆粒的易氧化金屬，適用于高分辨率成像。同樣地，低散射可得到均勻而致密的無定形碳膜。

儀器特點(diǎn)：

•   電容式觸摸屏，靈敏度高，更易觸控使用

•   用戶界面軟件全面更新，使用現(xiàn)代智能技術(shù)界面

•   全面的文字幫助頁面

•   USB接口可輕松進(jìn)行軟件更新和數(shù)據(jù)備份

•   log文件格式為.csv，內(nèi)含日期、時(shí)間和工作參數(shù)，可導(dǎo)出至Excel或類似軟件中分析

•   16GB的閃存可儲(chǔ)存超過1000條鍍膜方案

•   雙核ARM處理器，可實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)的顯示

•   可互換的插入頭；可拆卸腔室，設(shè)有防爆罩；多種樣品臺(tái)可選

•   可控斜坡碳棒蒸發(fā)；磁控冷濺射；脈沖清潔用于濺射Al（鋁）

•   大而多色的LED指示燈，實(shí)現(xiàn)可視化狀態(tài)指示；程序完成后具有音頻聲音提示

Q150T Plus具有三種型號(hào)：

1）Q150T S Plus全自動(dòng)濺射鍍膜儀，可濺射易氧化金屬及貴金屬。可濺射的靶材包括鉻、銥、鎢、ITO、鋁和其它靶材。

2）Q150T E Plus全自動(dòng)熱蒸發(fā)鍍碳儀（標(biāo)配碳棒頭，可選碳繩頭），適合SEM領(lǐng)域的EDS和WDS應(yīng)用，以及TEM及碳覆型膜應(yīng)用?？蛇x金屬蒸發(fā)/光闌清潔頭。

3）Q150T ES Plus集成了離子濺射和熱蒸鍍兩種鍍膜方式的系統(tǒng)。鍍膜頭可在數(shù)秒內(nèi)更換；可選金屬蒸發(fā)/光闌清潔頭。

推薦應(yīng)用：

•   掃描電鏡高分辨率放大應(yīng)用

•   TEM應(yīng)用

•   FIB中鍍保護(hù)性鉑層

•   腐蝕、摩擦和磨損保護(hù)層的研發(fā)

•   醫(yī)療設(shè)備上的保護(hù)層

•   BSE成像

•   EDX、WDS、EBSD分析

•   蒸鍍碳覆型膜

Q150T Plus是英國Quorum出品的認(rèn)可的Q系列鍍膜儀的一部分，數(shù)千家客戶使用此類鍍膜儀。Q系列旨在為SEM、TEM和薄膜應(yīng)用提供高質(zhì)量的鍍膜解決方案，Q系列功能多樣、價(jià)格合理且易于使用。這些產(chǎn)品科研用途。

對于SEM應(yīng)用的機(jī)械泵抽真空的噴金噴碳儀，請參見SC7620和Q150R Plus。對于FE-SEM應(yīng)用所需的超細(xì)顆粒鍍膜，建議采用高真空鍍膜儀，請參見Q150V Plus或Q150GB，如需大腔室版本的鍍膜系統(tǒng)，請參見：Q300T T Plus、Q300T D Plus、Q300T ES Plus和K975X/K975S。