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K1050X射頻等離子清潔刻蝕灰化儀

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  • 型號 K1050X
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  • 廠商性質(zhì) 其他
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更新時間:2021-07-11 14:04:17瀏覽次數(shù):313

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產(chǎn)品簡介

K1050X射頻等離子清潔刻蝕灰化儀

詳細(xì)介紹

K1050X射頻等離子清潔刻蝕灰化儀

K1050X射頻等離子處理單元由固態(tài)射頻發(fā)生器結(jié)合調(diào)諧電路組成。在等離子處理過程中,“自動調(diào)諧”功能可確保RF功率自動與系統(tǒng)或負(fù)載的任何變化進(jìn)行阻抗匹配。這意味著將腔室內(nèi)的射頻等離子條件保持在狀態(tài)-這很重要,因為它可以加快反應(yīng)時間,提高結(jié)果的可重復(fù)性,并在RF周期內(nèi)保護(hù)電源。具有同時兩種處理氣體流量針閥監(jiān)控,全部或部分通氣口控制。它的腔室為圓柱形,樣品裝載為抽屜式抽拉系統(tǒng),方便使用。

K1050X等離子桶式反應(yīng)器經(jīng)過精心設(shè)計,可以承受大量使用-每天24小時處理某些等離子灰化計劃-具有微處理器控制和自動操作功能,并具有耐用性和操作簡便性。各向同性(各個方向)的桶式系統(tǒng)等離子刻蝕或等離子灰化,適用于廣泛的應(yīng)用。K1050X使用低壓射頻感應(yīng)產(chǎn)生的氣體放電來以柔和、可控的方式修飾樣品表面或去除樣品材料,與其它方法相比的一個顯著優(yōu)勢是等離子蝕刻和灰化過程是干燥的(不需要濕化學(xué)藥品),并且在相對較低的溫度下進(jìn)行,所產(chǎn)生的“燃燒”產(chǎn)物可通過真空系統(tǒng)方便地在氣流中帶走。

真空系統(tǒng)為旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵(K1050X)或可選用膜片泵作為前級真空的渦輪分子泵(K1050XT)。

此系統(tǒng)通常使用氧及氬的混合氣體,氧去除有機(jī)物質(zhì)(碳?xì)浠衔铮瑲鍖悠繁砻孢M(jìn)行刻蝕。K1050X RF等離子桶式反應(yīng)器設(shè)計用于等離子蝕刻,等離子灰化和等離子清潔應(yīng)用。射頻等離子體可對各種樣品和基板進(jìn)行低溫修飾。等離子體蝕刻在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用較廣,因為K1050X可以用于使用反應(yīng)氣體(例如CF 4)去除硅層,以及用于使用氧氣去除光刻膠。

儀器特點(diǎn):

•   緊湊的臺式系統(tǒng),節(jié)省空間

•   固態(tài)射頻發(fā)生器及調(diào)諧電路,全自動控制,易操作

•   抽屜式結(jié)構(gòu),裝/卸樣品方便

•   兩種處理氣體

•   低溫灰化過程

•  在灰化過程結(jié)束后自動終止

推薦應(yīng)用:

•   煤的灰化;有機(jī)材料(例如環(huán)氧樹脂,過濾器,食品等)微觀灰化

•   SEM&TEM中有機(jī)樣品刻蝕

•   SEM、TEMSPM樣品或樣品夾Plasma清潔清洗

•   去除光刻膠及電子元件中的包膠,包括外延層的等離子蝕刻

•   塑料品的表面處理,實(shí)現(xiàn)從疏水到親水的轉(zhuǎn)化,改善塑料的油漆和上墨特性

•   石棉試樣制備,人造礦物纖維及石棉檢測

•   鍵合樣品預(yù)處理

•   對于需要更清潔真空環(huán)境的等離子蝕刻和等離子清潔應(yīng)用,請選用K1050XT

當(dāng)?shù)入x子蝕刻應(yīng)用涉及使用氧氣作為工藝氣體時,出于安全原因,強(qiáng)烈建議使用Edwards RV3 Fomblinized或類似的合成油旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵。當(dāng)然,在需要避免使用油基旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵的地方,也可選擇干式真空泵。注:本產(chǎn)品科研用途。

 

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