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美國(guó) KRI 射頻離子源 RFICP 220

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所在地區(qū):上海上海市

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

上海伯東代理美國(guó)考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 220, 大面積高能量柵網(wǎng)離子源.離子束流: 800 mA; 離子動(dòng)能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000; 流量(Typical flow): 10-40 sccm; 壓力: 0.5m Torr離子束可聚焦, 平行, 散射.采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無(wú)需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長(zhǎng).......

詳細(xì)介紹

美國(guó) KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術(shù)參數(shù):

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術(shù)參數(shù):

離子源型號(hào)

RFICP 220

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>800 mA

離子動(dòng)能

100-1200 V

柵極直徑

20 cm Φ

離子束

聚焦, 平行, 散射

流量

10-40 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長(zhǎng)度

30 cm

直徑

41 cm

中和器

LFN 2000

* 可選: 燈絲中和器; 可變長(zhǎng)度的增量

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