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詳細(xì)介紹
設(shè)備特點
超高真空除氣設(shè)備主要用于電子真空器件及半導(dǎo)體器件制備時的抽真空和烘烤除氣，是無油、超高真空系統(tǒng)。可根據(jù)用戶使用要求定制1~8工位，應(yīng)用于電子半導(dǎo)體行業(yè)。
設(shè)備性能
1、系統(tǒng)內(nèi)極限真空度：5×10-8Pa；
2、真空室極限真空度：5×10-5Pa；
3、加熱爐尺寸φ500×800mm；
4、加熱溫度500~600℃。
| 北京中科科美科技股份有限公司 |
| 參考價 | 面議 |
更新時間：2024-05-30 10:36:55瀏覽次數(shù)：75
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設(shè)備特點
超高真空除氣設(shè)備主要用于電子真空器件及半導(dǎo)體器件制備時的抽真空和烘烤除氣，是無油、超高真空系統(tǒng)。可根據(jù)用戶使用要求定制1~8工位，應(yīng)用于電子半導(dǎo)體行業(yè)。
設(shè)備性能
1、系統(tǒng)內(nèi)極限真空度：5×10-8Pa；
2、真空室極限真空度：5×10-5Pa；
3、加熱爐尺寸φ500×800mm；
4、加熱溫度500~600℃。
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