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詳細介紹
產(chǎn)品特點：
（1）采用自動控制界面和觸摸屏人機界面，操作方便且可隨時實時工藝監(jiān)控。
（2）的型腔設(shè)計，清洗均勻性好，清洗質(zhì)量高。
（3）等離子清洗具有重復(fù)性高，可控性強、利用率高、無污染、運行成本低等特點。
（4）不同的腔體結(jié)構(gòu)組合適用于不同類型的產(chǎn)品、組件或載具。
（5）應(yīng)用領(lǐng)域比較廣泛，如半導(dǎo)體封裝行業(yè)、半導(dǎo)體功率器件等
技術(shù)參數(shù)：
序號 | 型號 | AS-V100 |
1 | 設(shè)備外形尺寸 | 長×深×高＝1200mm×800mm×1750mm |
2 | 真空腔體尺寸 | 長×深×高＝450mm×450mm×610mm |
3 | 電源頻率 | 2.45GHz |
4 | 電源功率 | 600w |
5 | 電極板規(guī)格 | 非標(biāo)定制 |
6 | 軟件控制 | PLC觸摸屏 |
7 | 氣體純度要求 | 工業(yè)級氣體或更好 |
8 | 可加載氣體 | O? / N?/ Ar |
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