螺桿真空泵

下載LGB產(chǎn)品樣本(pdf)

　　概述：

　　LGB系列變螺距螺桿式真空泵是我公司根據(jù)市場(chǎng)需求自主研 發(fā)的技術(shù)的干式真空泵。因螺桿真空泵無需油潤(rùn)滑或水密封，泵腔內(nèi)無油，因此螺桿真空泵在半導(dǎo)體、電子工業(yè)中要求無油潔凈真空的場(chǎng)合以及化工制 藥中對(duì)溶劑的回收工藝等具有不可比擬的優(yōu)勢(shì)，可廣泛替代旋片式真空泵，滑閥 式真空泵，水環(huán)式真空泵，水噴射真空泵，往復(fù)式真空泵，羅茨水環(huán)真空機(jī)組等 。

　　螺桿真空泵的一個(gè)導(dǎo)程相當(dāng)于一級(jí)泵，多個(gè)導(dǎo)程的螺桿真 空泵相當(dāng)于多級(jí)泵串聯(lián)，相對(duì)于爪式真空泵、多級(jí)羅茨真空泵等多級(jí)串聯(lián)的干式 真空泵而言，因螺桿真空泵的各級(jí)之間無內(nèi)部通道，而是直接將氣體從吸氣側(cè)推 送至排氣側(cè)，因此在抽除可凝性氣體、帶有粉塵及顆粒物的氣體時(shí)不易堵塞且清 洗方便。

　　我公司變螺距螺桿真空泵具備以下特點(diǎn)：

　　· 結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。

　　· 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維修方便。泵的維修及保養(yǎng)無需專用 工具。

　　· 單泵即可達(dá)到30Pa~5Pa的極限壓力，工作范圍較 寬。

　　· 根據(jù)系統(tǒng)工況配用合適的羅茨真空泵可組成干式 真空泵機(jī)組，大大提高低壓區(qū)的抽氣速率并減小功耗。

　　· 泵腔內(nèi)無油，對(duì)被抽系統(tǒng)無污染，可獲得潔凈真 空。

　　· 泵腔內(nèi)無油，容易實(shí)現(xiàn)對(duì)溶劑的回收。

　　· 泵腔及螺桿表面有鍍鎳層、哈氏合金涂層、PFA 涂層、PEKK涂層、不銹鋼+PFA復(fù)合涂層等可供選擇，可抽除水蒸汽、氨氣、甲醇 、丙酮、二氯甲烷等多種介質(zhì)。

　　· 因工作過程中無廢油、廢水的排放，對(duì)環(huán)境無污 染。

　　· 對(duì)冷卻水的要求較低，對(duì)于泵的冷卻，普通的循 環(huán)水(脫鹽水)即可滿足要求，且冷卻水量較小。

　　· 清洗方便。如泵腔內(nèi)進(jìn)入污物需清洗時(shí)，只需打 開泵的吸排氣口，開啟泵后從泵的吸氣口加入適量的水或清洗劑即可將泵清洗干 凈，無需拆卸整臺(tái)泵。

　　· 因螺桿加工工藝復(fù)雜且需根據(jù)客戶使用工藝配套 復(fù)雜的電控系統(tǒng)，因此螺桿真空泵價(jià)格較高。

　　· 相比等螺距螺桿真空泵，變螺桿螺桿真空泵更適 合于在較低壓力下(低于絕壓30kPa)連續(xù)工作，且運(yùn)行功率低，發(fā)熱量小，噪音小 ，在抽除酯類等介質(zhì)時(shí)不易積炭。

　　· 采用了我公司的技術(shù)(號(hào)： Z·2015 2 0592475.4)對(duì)螺桿進(jìn)行了冷卻，可將排氣溫度進(jìn)一步降低30~50 ℃，在特殊工況下不易積炭;因排氣溫度較低，杜絕了排氣側(cè)機(jī)械密封被高溫氣體 燒毀的現(xiàn)象。

　　· 采用了內(nèi)壓溢流閥結(jié)構(gòu)，消除了吸入壓力較高時(shí) 的過壓縮現(xiàn)象，減小了高壓力工作區(qū)的功率損耗。

　　· 采用了下側(cè)排氣結(jié)構(gòu)，避免了凝液回流對(duì)螺桿真 空泵脈動(dòng)排氣時(shí)的沖擊。

LGB系列變螺 距螺桿真空泵性能參數(shù)表
 

注：因螺桿真空泵在抽除帶有粉塵的，易積炭的，有腐蝕性介 質(zhì)的工況下必須做相應(yīng)的針對(duì)性方案，請(qǐng)務(wù)必在訂貨時(shí)提供螺桿真空泵的使用條 件：a.被抽除的介質(zhì)組成;b.工作壓力;c.是否有積炭?jī)A向;d.抽除介質(zhì)中是否有粉 塵;e.抽除介質(zhì)中是否夾帶液體。

工作原理：

　　如圖所示，螺桿真空泵內(nèi)裝有一對(duì)平行的互相嚙合的螺旋 狀的轉(zhuǎn)子(1和2)，其中一件轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向?yàn)橛倚?，另一件為左旋。兩個(gè)轉(zhuǎn)子在 泵體(9)內(nèi)通過一對(duì)齒輪(3)保持同步反向旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵體之 間沒有磨擦且保持一定的間隙，兩個(gè)轉(zhuǎn)子與泵體之間形成了密封腔(4)，密封腔的 個(gè)數(shù)等于轉(zhuǎn)子的螺旋圈數(shù)。

　　兩個(gè)轉(zhuǎn)子在按圖中方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸氣口(5)相連的密封腔 的空間逐漸變大，氣體被吸入并被傳送到排氣側(cè)，排氣側(cè)的密封腔(6)空間在旋轉(zhuǎn) 過程中逐漸變小，氣體被壓縮到排氣口(7)。

　　長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)需向泵體及端蓋的夾套(8)內(nèi)通入適量的冷卻 水以對(duì)泵進(jìn)行冷卻。

　　因壓縮熱主要在排氣側(cè)(6)產(chǎn)生，為了充分冷卻轉(zhuǎn)子，在多 數(shù)工況下可以將適量的空氣或其它合適的氣體通過摻氣口(10)導(dǎo)入泵腔內(nèi)。

　　為使螺桿的溫度進(jìn)一步降低，通過(11)(12)在螺桿內(nèi)部通 入冷卻水，可使螺桿溫度降低30~50℃，從而使兩件螺桿之間保持較為恒定的間隙 ，保證穩(wěn)定的性能。對(duì)高溫下容易腐蝕泵的，高溫下易積炭的工況，采用螺桿內(nèi) 部冷卻后可明顯提高泵的使用壽命。

　　因變螺距螺桿真空泵在氣體傳輸過程中有內(nèi)壓縮，在對(duì)系 統(tǒng)進(jìn)行預(yù)抽真空或長(zhǎng)時(shí)間在較高壓力(例如大氣壓力~-0.05MPa)區(qū)間工作時(shí)，變螺 距螺桿真空泵容易出現(xiàn)過壓縮現(xiàn)象，我公司的LGB真空泵可將已經(jīng)達(dá)到排氣壓力的 氣體從(13)排出，從而降低泵的功率損耗。

外形尺寸圖 ：

性能曲線圖 ：