真空氣相沉積爐

本設(shè)備主要用于碳素制品的化學(xué)氣相沉積增密處理，或以碳?xì)錃怏w為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理及碳?xì)种破氛婵仗蓟錈崽幚怼?

1.雙層SUS304爐體結(jié)構(gòu)，中間通以冷卻水，有效降低爐體表面溫度，減少高溫傷害，降低對環(huán)境的影響；
2.采用的保溫材料及隔熱結(jié)構(gòu)，導(dǎo)熱系數(shù)低，保溫效果好，即使在很高的溫度下也能有效隔絕熱量，節(jié)約能耗；
3.能夠準(zhǔn)確控制氣體流量和壓力，通過特殊的導(dǎo)氣結(jié)構(gòu)和裝置，大大提高產(chǎn)品的合格率，降低沉積時間；
4.通過特殊的過濾裝置，使其熱解過程的碳粉幾乎過濾，不進(jìn)入真空機(jī)組，大大延長了真空機(jī)組的使用壽命；
5.人性化配置，既可以手動操作，也可以實現(xiàn)一鍵智能操作；
6.型式多樣化，立式上開門、立式底升式、臥式側(cè)開門，任意選擇；
7.本產(chǎn)品接受非標(biāo)定制。