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詳細(xì)介紹
一、設(shè)計原則
系統(tǒng)由一臺長4.8米X寬0.85米單面五工位真空手套箱操作系統(tǒng)對接一臺 300℃高溫加長管式爐，通過高真空法蘭對接高真空凈化手套箱，并配有氟膠圈密封爐蓋以保證物料不外泄，整個爐體外圍實現(xiàn)全封閉，結(jié)構(gòu)合理，外形美觀。極限真空0.1Pa。整套系統(tǒng)采用PLC控制，實現(xiàn)整個過程全自動操作。
整個操作系統(tǒng)廢氣均通過管式排風(fēng)空氣凈化裝置處理后排到通風(fēng)櫥內(nèi)，防止廢氣直接排放到實驗室內(nèi)對研究人員造成傷害。
二、 主要參數(shù)：
氫指標(biāo)：小于10 ppm；
泄露率：小于0.05vol%/h；
2.1手套箱技術(shù)指標(biāo)：
1）手套箱箱體
l 箱體：
材料：304 不銹鋼，厚度 3mm
內(nèi)表面：不銹鋼拉絲處理
外表面： 噴漆，白色
內(nèi)部尺寸： 長度：4800mm
深度：850mm；高度：900mm
l 前窗： 傾斜的視窗，透明鋼化安全玻璃，厚度8 mm
l 手套口：材料為聚甲醛，O型圈密封
l 手套： 丁基橡膠， 厚度0.4mm ，直徑 8"，長度32"
l 過濾器 ： 規(guī)格 0.3 微米，1個氣體入口和1個氣體出口
l 擱物架： 不銹鋼材料，內(nèi)置2層
l 箱體照明：LED燈，安裝在每塊玻璃窗前上方
l 接口： 備用接口3個， DN 40 KF，需要增加接口，可另外注明，
電源接口 1 個 （220V）
2) 小過渡艙
l 過渡艙
尺寸直徑 150mm，長度300mm，進(jìn)入手套箱部分長度100 mm
材料：304 不銹鋼
表面：內(nèi)表面為拉絲處理，外表面噴漆（白色）
l 附件
艙門：雙門，螺紋鎖緊
壓力表：模擬顯示
l 控制
手動閥手動操作
l 循環(huán)系統(tǒng)
工作氣體：氮氣、氬氣
循環(huán)能力：集成風(fēng)機流量90m3/h，加裝變頻
l 再生
操作：PLC自動控制再生過程
再生氣體：工作氣體與氫氣混合氣體，(氫氣5-10%)
l 真空泵
規(guī)格：12m3 /h，旋片泵，帶油霧過濾器 ，氣振控制
l 閥門
主閥：DN 40 KF ，電氣動角閥
控制閥：電磁集成閥
5）控制系統(tǒng)：
l 功能：包括自診斷、斷電自啟動特性，具有壓力控制和自適應(yīng)功能；自動控制、循環(huán)控制、密碼保護(hù)；單元控制采用西門子PLC觸摸屏。
l 壓力控制： 控制箱體、過渡艙的壓力，箱體工作壓力+/- 10mbar內(nèi)可以自由設(shè)定，超出+/- 12mbar系統(tǒng)自動保護(hù)；
l 腳踏板： 控制箱體壓力，方便操作升壓和降壓
6）顯示系統(tǒng)：采用西門子PLC 觸摸屏，顯示運行狀態(tài)，箱體壓力、系統(tǒng)記錄等
7）真空系統(tǒng)控制情況
英國EDWARDS 真空泵，可手動或通過PLC啟動，流量12m3/h ，可對過渡艙抽真空，并保持箱體壓力平衡，真空泵極限真空度≤3x10-1pa
8) 其他配件
l 氫分析儀
測量范圍： 0～500ppm
氫變送器采用電化學(xué)傳感器為測量單元，經(jīng)過對傳感器信號放大、濾波、線性化修正、標(biāo)準(zhǔn) 信號輸出等電氣處理后，通過微處理器計算出樣氣中的氫氣濃度值，并輸出模擬信號（標(biāo)配 4-20mA）供用戶 對氫氣信號的二次處理。
二、加熱部分
1. 采用多段智能化程序溫控，保證恒溫區(qū)長度為4500mm，溫度均勻性為±3℃
2. 加熱元件采用優(yōu)質(zhì)電阻絲，
3. 保溫層為進(jìn)口氧化鋁多晶體纖維板，
4. 設(shè)備的功率為40KW，控制電源為380V 50-60HZ，
5. 爐膽直徑為150mm。
*316L不銹鋼爐管
1. 材質(zhì)316L不銹鋼管，使用溫度低于750℃，直徑100*長度7000mm，壁厚8mm；
2.內(nèi)置滑軌/料架方便無聊取出，滑軌與料架的材質(zhì)為耐高溫合金鋼；
3. 爐管采用法蘭式密封，
4. 爐管預(yù)留與手套箱對接法蘭，采用氟膠圈密封，
5. 出口單獨連接除氫裝置，與真空泵接口分開；
6. 與真空泵鏈接采用KF40的快速接口；
7. 法蘭密封部分采用水冷裝置進(jìn)行冷卻；
*采用PLC 觸摸屏自動化控制
觸屏PLC模塊實現(xiàn)自動控制和程控加熱功能超溫和冷卻水?dāng)嗔鲌缶?/span>
CTS7-200系列具有以下幾個方面的出色表現(xiàn)：
的可靠性
豐富的指令集
極快的浮點運算速度
豐富的擴(kuò)展模塊
強大的內(nèi)部集成功能
CTS7-200系列在集散自動化系統(tǒng)中充分發(fā)揮其強大功能。使用范圍可覆蓋從替代繼電器的簡單控制到更復(fù)雜的自動化控制。
*機械真空泵真空系統(tǒng)、
飛越真空VRD-30機械泵，抽速30m3/h，極限真空度0.05Pa。電源：50/60Hz,380V,功率0.4KW
PPG800壓阻皮拉尼復(fù)合型規(guī)管，是特別為制造單晶硅使用氮氣/氬氣的真空設(shè)備開發(fā)的新型壓阻電阻復(fù)合真空計，也非常適用于使用各種不同氣體甚至混合氣體的各種場合。
適合于各類氣體或甚至于混合氣體的場合
小型化設(shè)計，省電節(jié)能
的溫度補償技術(shù)使得測量具有長期的穩(wěn)定性
全量程不用顧慮氣體種類的影響
壓阻和皮拉尼自動對接
一鍵式零點滿量程快速校正按鈕，瞬間修復(fù)誤差
RS485串口通訊，3個通訊速率可選，99個從機地址可選
輸出電壓滿量程可選
符合RoSH標(biāo)準(zhǔn)，獲得CE認(rèn)證
產(chǎn)品用途：半導(dǎo)體、電子元件的各種制造設(shè)備的中低真空的壓力測量和控制
真空爐、冷凍干燥、真空冶煉、真空鍍膜等各種制造設(shè)備的中低真空系統(tǒng)的壓力測量和控制
各類真空排氣系統(tǒng)，科研開發(fā)設(shè)備的中低真空系統(tǒng)的壓力測量和控制
技術(shù)參數(shù)：測量范圍： 1.0×10-3～1.33×105Pa
測量精度： 1.33×102～1.33×105Pa ±0.15%的滿量程
1.0×10-2～1.33×102Pa ±10%的讀數(shù)
1.0×10-3～1.33×10-2Pa ±20%的讀數(shù)
通訊速率： 9600/19200/38400bps
從機地址： 00-98
電壓輸出： 滿量程5V或10V可選
轉(zhuǎn)換公式： V=4+lg P P=10V-4 (V:電壓，P:壓力Pa)
氣體類別選擇：0.20～8.00
安裝方向： 任意無限制
電源電壓： 18～30VDC
電源功率： 1.4W(開機時2W)
外型尺寸（含規(guī)管）：48×30×68(93)mm
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