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真空等離子清洗機(jī)

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產(chǎn)品型號GDR-20PR

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地煙臺市

聯(lián)系方式:張經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間:2023-11-22 09:41:45瀏覽次數(shù):205次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:5條

所在地區(qū):山東煙臺市

聯(lián)系人:張經(jīng)理 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

臺式小型機(jī),PLC人機(jī)自動控制,簡單易用,用于實驗室及小批量工業(yè)生產(chǎn)中材料表面清洗、

刻蝕、活化等工藝。

詳細(xì)介紹

外形尺寸

570W)×420(D)×740(H)mm

  倉體結(jié)構(gòu)(不銹鋼,約20升)

 420(W)×270(D)×170(H)mm 

電極面積

  250(W) ×190(D) mm,3層  

  清洗模式

 RIE or DP模式自動轉(zhuǎn)換

  等離子發(fā)生器(韓國KM)

 頻率13.56MHZ,功率0-500W連續(xù)調(diào)節(jié),自動阻抗匹配

  控制系統(tǒng)

 觸摸屏(7寸)+PLC單步法全自動控制 ,采用歐姆龍、西門子等世界電器元件,

性能穩(wěn)定可靠,并具有手動、自動兩種模式

  真空系統(tǒng)

德國萊寶(Leybold)真空泵   D30C (37m3/h)

 進(jìn)口氣動角閥、充氣閥,德國(Inficon)壓力傳感器

  壓力控制

PID閉環(huán)自動穩(wěn)壓控制

   氣路系統(tǒng) 
 2路工藝氣體+1路氮氣配置,電子質(zhì)量流量計、針閥,美國飛托克(FITOK)氣體管路

關(guān)鍵詞:真空泵 傳感器
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