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干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab

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  • 干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab

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  • 型號 tlyon000292
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  • 廠商性質(zhì) 其他
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更新時間:2023-10-26 09:35:59瀏覽次數(shù):224

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產(chǎn)品簡介

15 級的寬測量范圍較短的抽氣和響應(yīng)時間

詳細(xì)介紹

  • 產(chǎn)品名稱:干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab
  • 訂貨號:tlyon000292
  • 品牌名稱:美國INFICON
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干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab

ULTRATEST™ 傳感器技術(shù)

穩(wěn)定性和靈敏度的新疆界,

檢漏低達(dá) 10 -12 atm/css

The INFICON UL1000 Fab 移動式氦氣檢漏儀特別設(shè)計(jì)用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。憑借環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動性,UL1000 Fab 在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應(yīng)。

通過結(jié)合較高氦氣抽氣能力和高進(jìn)氣口壓力的真空結(jié)構(gòu),UL1000 Fab 提供的的泄漏率低達(dá) < 5x10-12 atm cc/s。軟件 I-CAL(智能泄漏率計(jì)算法)讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時較長反應(yīng)時間的煩惱,因?yàn)?UL1000 Fab 能夠?qū)λ行孤┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。

使用額外的 TC1000 測試盒配件,UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡單、快速、精確的測試,如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管(根據(jù) MIL-STD 883,方法 1014)。

功能

  • 15 級的寬測量范圍
  • 較短的抽氣和響應(yīng)時間
  • 移動式全金屬外殼,增加了便利性,具有可操作性
  • I-CAL 確保了在所有測量范圍中提供的泄漏響應(yīng)時間
  • 抑零功能和自動積分時間校正,可提供快速、可靠的測試結(jié)果
  • 含堅(jiān)固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計(jì),提供較高氦氣抽氣能力和高壓縮比
  • 旋轉(zhuǎn)式顯示器和用戶界面允許簡單、輕松控制裝置以及與其進(jìn)行交互
  • 自保護(hù)功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
  • 自動吹掃循環(huán)可確保清理并隨時可進(jìn)行測試
  • 通過電子郵件進(jìn)行軟件更新
  • 含兩個燈絲離子源(3 年質(zhì)保)的耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長的運(yùn)行時間和較低的維護(hù)成本
  • 內(nèi)部校準(zhǔn)用的內(nèi)置測試漏孔確保了精確的測試結(jié)果

典型應(yīng)用

  • 對半導(dǎo)體加工工具執(zhí)行維護(hù)作業(yè),無論是否具有自有泵支持
  • 需要較高抽氣能力、高靈敏度和清潔測試條件的應(yīng)用
  • 在現(xiàn)有工具中安裝前對部件執(zhí)行檢漏
  • 工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝
  • 內(nèi)置軟件菜單“自動測漏”功能可使用 TC1000 測試盒執(zhí)行密封組件的自動測試

規(guī)格

類型 Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
氦氣(真空模式)可檢漏率 mbar•L/s <5E-12
氦氣(真空模式)可檢漏率 mbar•L/s <5E-12
氦氣(吸槍模式)可檢漏率 mbar•L/s 5E-8
MASSIVE 模式進(jìn)氣口壓力 mbar 1000
GROSS 模式進(jìn)氣口壓力 mbar 15
FINE 模式進(jìn)氣口壓力 mbar 2
ULTRA 模式進(jìn)氣口壓力 mbar 0.4
抽真空期間的抽氣能力 m³/h > 30 at 50 Hz
抽真空期間的抽氣能力 m³/h > 30 at 50 Hz
GROSS 模式氦氣抽氣能力 L/s max. 8
FINE 模式氦氣抽氣能力 L/s 7
ULTRA 模式氦氣抽氣能力 L/s 2.5
ULTRA 模式氦氣抽氣能力 L/s 2.5
可檢測質(zhì)量數(shù) 2,3,4 amu
質(zhì)譜儀扇形場 180°
燈絲離子源銥/氧化釔涂層 2
內(nèi)置校準(zhǔn)漏孔 mbar•L/s e-7
測試端口 DN 25 KF 1
可調(diào)觸發(fā)器

2

接口 2 x USB, Ethernet / LAN
接口 2 x USB, Ethernet / LAN
圖形記錄器輸出 V 2 x10
輸入/輸出 PLC compatible
輸入/輸出 Via I/O 1000 module
允許的環(huán)境溫度(操作過程中) °C +10.....+40
保護(hù)類型 IP 20
重量
120
重量
120
重量
120
尺寸(長x寬x高) mm 1050x472x987
尺寸(長x寬x高)
1050x472x987
電源電壓 V (ac) 230 (+-10% )50Hz
電源電壓 V (ac) 230 (+-10% )50Hz
電源電壓 V (ac) 230 (+-10% )50Hz
電源電壓 V (ac) 230 (+-10% )50Hz
功耗 VA 1100
功耗 VA 1100

零件號

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab

零件號 明細(xì)
550-100A ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug
550-101A ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug

附件

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件號 明細(xì)
14005 SL200,UL1000/5000/Modul1000 用吸槍探頭,4 米長
14022 RC1000 extension cable, 8 m
14090 LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000
551-000 Toolbox, detachable,for UL1000
551-001 Helium Bottle Holder for UL1000/5000
551-002 ESD Mat for UL1000/5000
551-005 TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-010 遙控器 RC1000C,有線,帶 4 米卷線
551-015 遙控器 RC1000WL,無線,包括無線發(fā)射機(jī)
551-020 RC1000WL 用無線發(fā)射機(jī)

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