GC-9860-5CPDHID氦離子氣相色譜儀

GC-9860-5CPDHID氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測。該產(chǎn)品以GC-9860氣相色譜儀為載體，配備VALCO公司生產(chǎn)的氦離子化（PDHID）檢測器；采用公司擁有專業(yè)技術(shù)的四閥五柱的中心切割與反吹技術(shù)，其中的所有進(jìn)樣和切換閥均為VALCO公司生產(chǎn)的帶吹掃保護(hù)氣路的六通或十通閥；上述部分與VALCO公司原裝的氦氣純化器、無死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析解決方案。
高純氣體的分析是一個復(fù)雜的過程，不僅需要高靈敏的檢測器，還要考慮樣品本身的特性及其背景，如吸附、取樣及分析過程中是否有空氣混入、系統(tǒng)的密閉性、系統(tǒng)的死體積等環(huán)節(jié)，公司總結(jié)了高純氣體分析過程中的技術(shù)難點(diǎn)，并給出了所有難點(diǎn)的解決措施，使GC-9860-PDHID氦離子化氣相色譜儀成為國內(nèi)的高純氣體分析系統(tǒng)，很好的完成了氣體中微量雜質(zhì)，特別是ppb級的雜質(zhì)的分析。

產(chǎn)品的特點(diǎn)與技術(shù)要求:

1.氣體行業(yè)專業(yè)色譜技術(shù)成套解決方案

2.采用VICI公司Valco帶吹掃型十通與六通切換閥控制氣路

3.應(yīng)用氣體分離專用色譜柱分離預(yù)切再分離技術(shù)

4.采用本公司技術(shù)的可分離與嵌入式單體控溫柱爐

5.工藝流程采用多路精密零死體專用閥控制多維色譜分離柱流量

6.分析流程全部采用Valco公司316不銹鋼管路與專用鍍金接頭

7.核心靈敏部件采用Valco公司PDHID脈沖氦離子檢測器

8.成套專業(yè)化的數(shù)字與全中文反控氣相色譜儀

中心切割與反吹系統(tǒng)

GC-9860-5CPDHID氦離子化氣相色譜儀采用多閥多柱的中心切割與反吹系統(tǒng)，該系統(tǒng)由多個吹掃型十通閥及多根色譜柱聯(lián)合組成，通過工作站設(shè)置的時間程序自動控制其進(jìn)樣、切換、切割與反吹等過程，完成包括高純氮、高純氫、高純氧、

高純氦、高純二氧化碳、高純氬、氪氣、氙氣、氖氣等高純氣體以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測：
VALCO吹掃型十通閥
GC-9860-PDHID氦離子化氣相色譜儀所配備的均為VALCO生產(chǎn)的
經(jīng)特殊加工的色譜柱技術(shù)

杜絕氧吸附

氣體全分析流程：四閥五柱

HP-2氦氣純化器：

可純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn 、NO、NH3、CF4等

殘留濃度：≤10ppb

外置式單氣路恒溫柱箱

◆單氣路,箱爐可獨(dú)立控溫與恒溫;

◆加熱塊與柱爐體采用可分離與嵌入式技術(shù);安裝與拆卸實用方便;

◆爐體與外箱盒設(shè)計分體, 安裝色譜柱, 分離與嵌入加熱塊,填裝保溫棉材等都人性化設(shè)計.

VALCO脈沖氦離子檢測器

◆PDHID是利用氦中穩(wěn)定的，低功率脈沖放電作電離源，使被測組分電離產(chǎn)生信號。

PDHID是非放射性檢測器，對所有物質(zhì)均有高靈敏度的正響應(yīng)。

◆非放射性檢測器，使用安全

◆檢測靈敏度，氣體中雜質(zhì)的最小檢測濃度達(dá)5ppb

色譜分析流程圖

1.9分析過程

1. 如高純N2通過程序設(shè)定，樣品通過閥1定量管定量進(jìn)入預(yù)柱1/8"*2mHayesepQ 1，預(yù)柱很好的把O2中CO2和H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO組分預(yù)分離，待H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO 流出預(yù)柱，自動切換閥1。CO2直接通過閥1放空.

2. 閥3一開始是1-4相同，當(dāng)O2從分子篩柱流出后進(jìn)入閥3后，進(jìn)入后面的分析篩，閥3切換，H2、02直接進(jìn)入后面的分子篩繼續(xù)分離，通過閥4進(jìn)入檢測器檢測。此時閥3處于放空狀態(tài)，放掉大部分的氮?dú)猓?dāng)CH4即將流出前面分子篩，閥3再次切換， CH4與氮?dú)獾幕旌蠚怏w進(jìn)入后面的分子篩繼續(xù)分離，通過閥4進(jìn)入檢測器進(jìn)行檢測。當(dāng)CH4流出前面分子篩后，閥3再次切割為放空狀態(tài)，繼續(xù)放掉氮?dú)狻?/span>

3.  當(dāng)CO即將流出分子篩，閥3再次切換，CO通過閥3進(jìn)入后面的分子篩繼續(xù)分離，進(jìn)入檢測器檢測。當(dāng)CO從前面分子篩流出后，閥3再次切換，處于放空狀態(tài)。

4.  閥2是用來分析CO2的，當(dāng)樣品從定量環(huán)中帶入預(yù)柱中，一開始閥2是處于放空狀態(tài)，待H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO流出排空后，閥2切換，把CO2反吹進(jìn)檢測器進(jìn)行分析。

分析譜圖

標(biāo)準(zhǔn)樣品譜圖

高純氫氣樣品譜圖

高純氮?dú)?/span>

高純Ar