A100高靈敏氦質(zhì)譜檢漏儀

支持正壓檢漏，負壓檢漏自動跟蹤本底，提供快速可靠的測量結果優(yōu)化設計的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確?？焖偾搴ぶС值獨馄瓶?，不受環(huán)境氦氣干擾，快速降低本底機器**的性能支持7*24小時長時間在線測試機器**的性能支持幾秒一次的高頻率測試配有檢漏口精細過濾器，過濾細微雜質(zhì)，確保機器不受雜質(zhì)影響和損傷雙銥絲離子源，有效的系統(tǒng)設計，防

A100型氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應用于科研院所、航空航天、動力鋰電池，閥門、精密儀表、機械加工、電力、半導體、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。

功能描述
支持正壓檢漏，負壓檢漏
自動跟蹤本底，提供快速可靠的測量結果
優(yōu)化設計的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應
高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確保快速清氦
支持氮氣破空，不受環(huán)境氦氣干擾，快速降低本底
機器**的性能支持7*24小時長時間在線測試
機器**的性能支持幾秒一次的高頻率測試
配有檢漏口精細過濾器，過濾細微雜質(zhì)，確保機器不受雜質(zhì)影響和損傷
雙銥絲離子源，有效的系統(tǒng)設計，防大氣沖擊
支持定制檢漏工作臺，更加便捷使用
技術參數(shù)
小可檢漏率（負壓模式） 5×10^-13Pa·m³/s
小可檢漏率（正壓模式） 1×10^-8Pa·m³/s
檢漏口壓強 粗檢 1500Pa
中檢 200Pa
精檢 40Pa
響應時間 ＜1s
 

啟動時間 ≤3min

前級油泵抽速 16m³/h

外形尺寸（W×D×H） 845×465×988
 

重量 80Kg

常見泄漏率

 

水每秒漏一滴水	10-2Pa.m3/s
車胎打氣在水中冒泡	10-3Pa.m3/s
頭發(fā)絲夾在密封圈與法蘭之間	10-3Pa.m3/s-10-4Pa.m3/s
半年內(nèi)汽車輪胎壓力 從0.23Mpa降到0.19Mpa	10-6Pa.m3/s
空調(diào)連續(xù)工作一年，泄漏1克冷媒	10-7Pa.m3/s

檢漏方法示意圖

 

結構圖