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詳細(xì)介紹
系統(tǒng)依據(jù)的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn):
GB/T 31987-2015 電子工業(yè)用氣休 鍺烷
Items/檢測(cè)項(xiàng)： O2、N2、H2、CH4、CO2、CO、C1-C4、
SiH4(硅烷)、PH3(磷烷)、AsH3(砷烷)、二鍺烷、H2S、
GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)。該產(chǎn)品以GC-126氣相色譜儀為載體，配備VALCO公司生產(chǎn)的氦離子化（PDHID）檢測(cè)器；采用克柔姆公司擁有專(zhuān)業(yè)技術(shù)的四閥五柱的中心切割與反吹技術(shù)，其中的所有進(jìn)樣和切換閥均為VALCO公司生產(chǎn)的帶吹掃保護(hù)氣路的六通或十通閥；上述部分與VALCO公司原裝的氦氣純化器、無(wú)死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析解決方案。
高純氣體的分析是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程，不僅需要高靈敏的檢測(cè)器，還要考慮樣品本身的特性及其背景，如吸附、取樣及分析過(guò)程中是否有空氣混入、系統(tǒng)的密閉性、系統(tǒng)的死體積等環(huán)節(jié)，克柔姆色譜公司總結(jié)了高純氣體分析過(guò)程中的技術(shù)難點(diǎn)，并給出了所有難點(diǎn)的解決措施，使GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀成為工業(yè)氣體行業(yè)的高純氣體分析系統(tǒng)，很好的完成了氣體中微量雜質(zhì)，特別是ppb級(jí)的雜質(zhì)的分析。
進(jìn)樣與反吹系統(tǒng): 吹掃十通閥2只; 吹掃六通閥3只;
閥體選:采用VICI 316L不銹鋼材質(zhì)； 氣路管線(xiàn): 1/16或1/8采用VICI 316L材質(zhì)
儀器主要應(yīng)用于5N鍺烷氣體中微量雜質(zhì)的分析，具體內(nèi)容詳見(jiàn)下表：
| 氣體種類(lèi) | 需分析特氣的雜質(zhì)種類(lèi) | |||||||
| He | H2 | O2/Ar | N2 | CH4 | CO | CO2 | H2S | C2、SiH4、 PH3、 AsH3、、Ge2H6、C3、C4 |
| 儀器的最小 檢測(cè)限（PPb） | 5 | 5 | 5 | 5 | 15 | 5 | 20-30 | 5-10 |
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