四探針測試儀 返回列表頁

郭

儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結果。

儀器采用了電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結構緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。

RTS-8型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析

技　術　指　標 ：

測量范圍：

電阻率：10-4～105 Ω.cm（可擴展）；  
方塊電阻：10-3～106 Ω/□（可擴展）；
電導率：10-5～104 s/cm；

電阻：10-4～105 Ω；

可測晶片直徑

140mmX150mm（配S-2A型測試臺）；
200mmX200mm（配S-2B型測試臺）；

 400mmX500mm（配S-2C型測試臺）；

恒流源電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；

顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標針

間絕緣電阻：≥1000MΩ；

機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓（總力）；

四探針探頭應用參數(shù) （見探頭附帶的合格證）

模擬電阻測量相對誤差
（ 按JJG508-87進行）  0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機測量zui大相對誤差（用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±5%

整機測量標準不確定度≤5%

計算機通訊接口并口

標準使用環(huán)境溫度：23±2℃；
 相對濕度：≤65%；
 無高頻干擾；
 無強光直射；

專業(yè)供應四探針測試儀系列及其配套附件產(chǎn)品（粉末壓片機、壓片模具），質(zhì)量保證、*、售后服務周到是值得廣大客戶信賴的專業(yè)供應商。我公司長年與全國各大高校、研究所、研究院、藥廠等多部門企事業(yè)單位實驗室建立合作關系，受到廣大新老客戶的一直好評。： 郭

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