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詳細(xì)介紹
FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器采用橡膠密封材質(zhì)，適用于常規(guī)無腐蝕性氣體范圍、產(chǎn)品具有高精度、高速應(yīng)答、重復(fù)性好等特點(diǎn)，具有很高的性價(jià)比。
FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器廣泛使用在半導(dǎo)體液晶產(chǎn)業(yè)用真空裝置數(shù)據(jù)存儲(chǔ)裝置工業(yè)鍍膜實(shí)驗(yàn)室儀器大氣環(huán)境監(jiān)測等行業(yè)，在CVD、PVD、離子擴(kuò)散、濺射、燃燒、光纖鍍膜、表面處理和其他鍍膜工藝中有大量使用先例并。
技術(shù)特點(diǎn)：
◆低成本
FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器針對(duì)非腐蝕性氣體和泄漏率要求不高的場合、保證了產(chǎn)品高性能同時(shí)，具有很好性價(jià)比。
◆替換方便
FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器采用業(yè)界通用的通信方式，很容易對(duì)其他廠家的產(chǎn)品進(jìn)行替換，從而實(shí)現(xiàn)提高性能和穩(wěn)定性的目的。
◆高信賴和可靠性
FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器優(yōu)秀的統(tǒng)性前世上有大約在行中的產(chǎn)品其年目界4萬只運(yùn)中的產(chǎn)品，其一年內(nèi)的返修率不到0.5%,廣受客戶贊譽(yù)
技術(shù)參數(shù)：
性能指標(biāo) FC-R7700CD/FC-R7700D系列 FC-R7710CD/FC-R7710D系列 FC-R7720CD/FC-R7720D系列 滿量程范圍 10Sccm-5Slm N/O:6-20slm* N/C:6-50slm** 35-200Slm 響應(yīng)時(shí)間 滿流量的±2%范圍內(nèi),小于2秒 滿流量的±2%范圍內(nèi),小于3秒 精度 ≤±1%滿量程 ≤±2%滿量程 線性鍍 ≤滿量程±0 5% ≤滿量程±0 5% ＃1 ≤滿量程±1% 重復(fù)性 ≤滿量程±0.2% 泄漏率 1X10E-7 Pa.m 3/sec 控制范圍 滿流量的2%-5% #2 壓差 49Kpa-275Kpa 69Kpa-275Kpa 98Kpa-275Kpa 147Kpa-275Kpa 正常工作壓 力 490Kpa 進(jìn)氣壓力 980Kpa 溫度范圍 5-45℃(41-113℉) 輸入電源 +15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 180mA +15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 200mA 功率 3.1W max 3.5W max 輸入信號(hào) 0-5 VDC 輸出型號(hào) 0-5 VDC 控制閥形式 常開或常閉電磁閥 密封件 氟橡膠 材質(zhì) 316L，316，PTFE，不銹鋼（氟橡膠，氯丁橡膠） 標(biāo)準(zhǔn)接口 1/4"VCR和Swagelok兼容 3/8"VCR,1/4"VCR 重量 1.0KG 2.7KG
＃1滿量程流量值大于30SLM線性度≤滿量程±1%
＃2滿量程流量值大于150SLM控制范圍為5%-99%
＃3滿量程流量值大于150SLM壓差范圍為195-296Kpa
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