詳細介紹
本系列單晶硅烘箱主要用于單晶硅與多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工藝處理。
■ 單晶硅烘箱箱體結構: 設計,箱體采用數控機床加工成型,箱門采用式,操作容易。內膽采用SUS304不銹鋼板,外殼為A3板噴塑處理,更顯光潔、美觀。電路系統側采用門式開啟,方便維護和檢修。箱門閉合松緊能調節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保烘箱的密閉性。
■ 單晶硅烘箱控制執(zhí)行系統: 溫度控制器采用觸摸按鍵、數顯LED顯示、PID智能控制儀表; Pt100鉑電阻測溫傳感器
■ 單晶硅烘箱保護系統: 整機保護系統由超溫保護及報警裝置構成。保證了執(zhí)行元器件及試件的完好