JIB-4000 聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)圖片

日本JEOLJIB-4000聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)，配置了高性能的離子鏡筒(單束FIB裝置)。被加速了的鎵離子束經(jīng)聚焦照射樣品后，就能對(duì)樣品表面進(jìn)行SIM觀察、研磨，沉積碳和鎢等材料。還可以為TEM成像制備薄膜樣品，為觀察樣品內(nèi)部制備截面樣品。通過與SEM像比較，SIM像能清楚地顯示出歸因于晶體取向不同的電子通道襯度差異，這些都非常適合于評(píng)估多層鍍膜的截面及金屬結(jié)構(gòu)。