圖片描述:
Tergeo系列臺(tái)式全自動(dòng)等離子清潔儀具有清潔、灰化、刻蝕等功能,可用來(lái)清潔納米級(jí)樣品,去除光刻膠,清潔晶圓和集成電路鍵合焊盤(pán),進(jìn)行煤和有機(jī)物的灰化,激活聚合物、金屬和陶瓷表面官能團(tuán),獲得表面親水性,提高鍵合強(qiáng)度和可印刷性,促進(jìn)科研生物相容性。可集成浸入式和遠(yuǎn)程式兩種等離子源,既可清潔電鏡光闌和TEM樣品桿,也可清潔石墨烯、碳納米管、類(lèi)金剛石碳和TEM載網(wǎng)多孔碳膜等脆弱的精細(xì)樣品。
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