張家港普瑞倫半導體設(shè)備有限公司

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2021-03-26 18:42:20352
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  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):其他
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半導體設(shè)備的生產(chǎn)線中、HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內(nèi)表面吸附并和少量的水分反應(yīng),形成腐蝕生成物。這種物質(zhì)是產(chǎn)生微粒子造成半導體工藝污染的原因。因此,我們采用了遠比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金?開發(fā)出這種對應(yīng)腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-600系列。

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