邁可諾技術(shù)有限公司

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2021-01-06 13:46:52652
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快速退火爐(RapidThermalProcess)是一個簡單穩(wěn)定的熱處理系統(tǒng),適合于廣泛尺寸為直徑2~12英寸的基片材料和結(jié)構(gòu)的快速熱低溫退火(RTA),(如電子級硅、鋼鐵、玻璃、單晶硅、III-V族化合物、II-VI族化合物、鍺、超導(dǎo)體

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