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簡(jiǎn)單介紹:1200℃雙溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)由雙溫區(qū)管式爐、三路浮子流量計(jì)和雙極旋片真空泵組成。管式爐兩個(gè)溫區(qū)分別由精密控溫儀表獨(dú)立控溫,通過(guò)調(diào)節(jié)各個(gè)溫區(qū)的溫度,該管式爐可以在加熱區(qū)內(nèi)形成兩段溫度梯度或是形成較長(zhǎng)的恒溫區(qū)域。每個(gè)溫區(qū)均可編輯30段升降溫程序,同時(shí)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。1200℃雙溫區(qū)3路浮子供氣低真空CV......
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