雙溫區(qū)管式爐 燃?xì)忮仩t圖片

簡單介紹：雙溫區(qū)管式爐設(shè)備由雙溫區(qū)管式爐、溫控蒸發(fā)器、濕度監(jiān)測(cè)器三部分組成。溫控蒸發(fā)器和濕度監(jiān)測(cè)器的組合可以持續(xù)產(chǎn)生符合試驗(yàn)配比要求的水蒸氣，即通過觀察濕度監(jiān)測(cè)器的示數(shù)，相應(yīng)的調(diào)節(jié)溫控蒸發(fā)器的加熱速率即可調(diào)節(jié)水蒸氣產(chǎn)生速率。雙溫區(qū)管式爐若再配合三路浮子流量計(jì)即可實(shí)現(xiàn)對(duì)通入氣體成份和濕度的準(zhǔn)確控制，適用于CVD工藝中的液體源和化學(xué)前......