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上海伯東美國(guó)HVA真空閘閥71000系列是專(zhuān)為較苛刻的真空環(huán)境而設(shè)計(jì).真空閘閥71000系列由堅(jiān)固的不繡鋼剛坯在1100°C,1x10-6mbar條件下加工成形,真空閘閥兩側(cè)密封的門(mén)上雙密封設(shè)計(jì),閥門(mén)內(nèi)部幾乎沒(méi)有移動(dòng)部件,大限度減少粒子的生成.免維護(hù)設(shè)計(jì)(不繡鋼波紋管與工藝過(guò)程分離).適用于MOCVD,ALD,PECVD等典型的嚴(yán)酷的應(yīng)用.
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