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1、密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)*,漏率可達(dá)到<1×10-10Pa.M3/S,改變了球閥不能滿足高真空、超高真空的現(xiàn)狀;2、開關(guān)扭矩小,配置電動(dòng)執(zhí)行器小,工作穩(wěn)定、可靠;3、結(jié)構(gòu)緊湊,重量輕,外形簡潔、美觀;4、電動(dòng)真空球閥既能適用高真空,又能適用一定的正壓力下使用;由于球閥全通導(dǎo),又能達(dá)到超高真空要求,所以也能適用于加速器真空系統(tǒng)。
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