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電漿等離子清洗機(jī)系統(tǒng)由三大主要部分組成:1.主機(jī)連接電源連接冷卻的處理氣體高射頻電壓等離子源控制模塊氣體控制模塊前面板的操作控制系統(tǒng)2.傳輸氣體和能量的柔性導(dǎo)管3.等離子噴頭:由中間電極、外部電極和絕緣區(qū)域組成。高壓射頻發(fā)生器將常電壓轉(zhuǎn)變成高電壓(超過10KV),這對于形成高壓放電是必須的。高電壓和冷卻的處理氣體是通過柔性導(dǎo)管傳輸?shù)椒烹妳^(qū)域的。氣流中的活性元素(i+,
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