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表面粗糙度測量功能高分辨力型Z1軸檢出器作為標(biāo)準(zhǔn)件提供。Z1軸的顯示分辨力為0.0001μm(測量范圍為8μm時(shí))。X軸內(nèi)置高精度玻璃光柵尺,直接讀取X軸移動(dòng)距離,在高精度精準(zhǔn)定位下,完成間距參數(shù)的評(píng)價(jià)。檢出器測力有4mN和0.75mN可選。輪廓測量功能Z1軸(檢出器)上配有高精度弧形光柵尺和新型測臂。高精度弧形光柵尺能直接讀取測針的弧形軌跡,以實(shí)現(xiàn)高精度和高分辨力。與傳統(tǒng)型號(hào)相比,新
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