美國ZYGO激光干涉儀VeriFire圖片

菲索型激光干涉儀，具有環(huán)形光源偽跡消除抑制技術，是一種高精度、共光路面形計量干涉儀。ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire激光干涉儀，繼承了工業(yè)標準GPI激光干涉儀系列的大部分優(yōu)點，融合了機械相移技術、革命性的數(shù)據采集技術、高性能的光電成像系統(tǒng)、振動補償軟件、非球面測量技術和波紋抑制技術等。Zygo推出用于在震動環(huán)境下測量的DynaFiz干涉儀。