1905年,法國(guó)工程師 Leon Creux 發(fā)明了渦旋壓縮機(jī),而今渦旋泵被用作無(wú)油真空泵。每臺(tái)渦旋泵都由兩個(gè)阿基米德螺旋件構(gòu)成,這兩個(gè)螺旋件彼此相對(duì)并錯(cuò)開(kāi)180°,因此形成了若干個(gè)大小不一的月牙形凹槽。采用偏心驅(qū)動(dòng)的設(shè)計(jì),運(yùn)動(dòng)螺旋件相對(duì)于固定螺旋件是按確定軌道旋轉(zhuǎn),從而縮小了凹槽容積并將氣體從外朝內(nèi)擠壓,實(shí)現(xiàn)抽氣功能。保持精確的制造公差并選擇合適材料對(duì)于渦旋泵質(zhì)量十分重要。
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