90i/iX TURBOVAC i/iX分子泵

萊寶真空生產(chǎn)的渦輪分子泵能夠獲得潔凈的高真空和超高真空，具有操作簡單，可靠性高等特點。與性能良好的前級泵組合后，可以實現(xiàn)低于10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓力。

萊寶真空是世界上渦輪分子泵之一。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功應(yīng)用于許多場合。

工作原理

渦輪分子泵轉(zhuǎn)子是一個帶葉片的渦輪，快速旋轉(zhuǎn)的葉片將動量傳輸給氣體分子，將起初無方向性的熱運動變成有定向運動。

渦輪分子泵的抽氣過程就是使氣體分子從進氣口法蘭定向運動到前級真空口。

在分子流范圍——也就是在低于10-3mbar(0.75 x 10-3 Torr)的壓強時，氣體分子的平均自由行程大于轉(zhuǎn)子與定子葉片之間的間距(典型為十分之零點幾毫米)，分子主要與轉(zhuǎn)子葉片碰撞，所以

抽氣過程非常高效。

在粘滯流范圍，也就是壓強超過10-1mbar(0.75 x 10-1 Torr)，情況則不同，分子間的頻繁碰撞降低了轉(zhuǎn)子的效率。因此，渦輪分子泵無法在大氣壓下工作，需要適當(dāng)抽速的前級真空泵。

為了使氣體分子產(chǎn)生定向運動，轉(zhuǎn)子葉片的末端的線速度必須足夠大。所以，轉(zhuǎn)子也要有相應(yīng)的高轉(zhuǎn)速。對于萊寶真空的渦輪分子泵而言，較大直徑轉(zhuǎn)子（例如 TURBOVAC 1000 ，大約20cm(7.87in.)）的轉(zhuǎn)速大約為36000rpm，而較小直徑轉(zhuǎn)子（例如TURBOVAC50，大約6cm(2.36in.)）的轉(zhuǎn)速為72000rpm。

分子泵設(shè)計理念

萊寶真空針對不同應(yīng)用提供基于不同軸承和轉(zhuǎn)子技術(shù)的渦輪分子泵。如TURBOVAC系列機械軸承標準分子泵；TURBOVAC MAG系列磁懸浮軸承分子泵；TURBOVAC i/iX系列半磁浮分子泵（半磁浮分子泵僅在排氣端配置脂潤滑軸承，高真空端配置免維護的永磁軸承）。萊寶真空的分子泵均不采用油潤滑軸承可以從理論上避免分子泵對腔體產(chǎn)生碳氫化合物污染并且保證所有分子泵均可以任意角度安裝。

萊寶TURBOVAC i 分子泵剖面圖

TURBOVAC i/iX系列

TURBOVAC i/iX系列分子泵是萊寶真空采用全新的設(shè)計理念研發(fā)的全新一代分子泵。該系列產(chǎn)品為客戶提供真空的性能和較高的系統(tǒng)集成度。

TURBOVAC i/iX系列分子泵創(chuàng)新的軸承設(shè)計地克服了分子泵軸承設(shè)計的瓶頸，同時滿足了軸承無油和現(xiàn)場更換這兩大設(shè)計難點，實現(xiàn)了一代的技術(shù)水平。

TURBOVAC i/iX系列分子泵適合分析儀器、科研和普通工業(yè)應(yīng)用

TURBOVAC產(chǎn)品線的優(yōu)勢是：

- 無油，可以實現(xiàn)清潔的高真空和超高真空條件

- 運行高度可靠

- 耐輻射

- 設(shè)計緊湊

TURBOVAC i/iX產(chǎn)品線的優(yōu)勢是：

- 款無油半磁浮分子泵

- 模塊化設(shè)計

- 抽速大，壓比高

- 免維護

- 清潔無油

陶瓷滾珠軸承技術(shù)

所有的TURBOVAC泵都使用陶瓷滾珠軸承，軸承終生脂潤滑。

陶瓷滾珠較鋼滾珠更輕、更硬和更光滑。因此，使用陶瓷滾珠，座圈的磨損明顯降低。延長軸承和分子泵的壽命延長。

裝有脂潤滑的陶瓷滾珠軸承TURBOVAC泵可以任意方向安裝。由于滾珠軸承采用封裝工藝，所以即使分子倒置安裝，油脂也不可能進入高真空區(qū)域。

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