TwisTorr 84 FS
TwisTorr 84 FS 高真空渦輪分子泵采用 TwisTorr 拖動技術(shù)和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr 技術(shù)對小分子氣體(如氫氣和氦氣)能提供高壓縮比,從而實(shí)現(xiàn)大抽氣量和高前級耐壓,進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、更小型的前級泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計(jì),變得高效節(jié)能,并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動,并能保證的軸承工作條件,從而能延長工作壽命,減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間,并能確保長時(shí)間穩(wěn)定性。TwisTorr 84 FS 泵的軸承和干式潤滑劑設(shè)計(jì),使得泵無需泵油和維護(hù),能夠以任意方向安裝??蛇x擇一體式控制器或機(jī)架控制器。
特性
- 創(chuàng)新的 TwisTorr 技術(shù) — 對小分子氣體能提供高壓縮比,而非常小巧的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)則實(shí)現(xiàn)了高性能和最小的系統(tǒng)占用空間。
- 高前級耐壓 — 允許使用更小的前級泵,從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。
- 安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動,低噪音,的軸承工作條件,延長泵的使用壽命,實(shí)現(xiàn)使用維護(hù)成本優(yōu)化,減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間,并保證長時(shí)間穩(wěn)定的抽氣性能。
- 的軸承和干式潤滑劑 — 免維護(hù)、免油,實(shí)現(xiàn)任意角度安裝。
- 銅制水冷通道(可選) — 可避免腐蝕,優(yōu)化熱傳遞性能,降低用水量和使用維護(hù)成本。
性能指標(biāo)
技術(shù)指標(biāo)
抽速 | KF 40 | CFF 2.75 英寸 | ISO 63,CFF 4.5 英寸 | |
氬氣 | 44 L/s | 57 L/s | 66 L/s | |
氮?dú)?/span> | 49 L/s | 56 L/s | 67 L/s | |
He | 38 L/s | 46 L/s | 63 L/s | |
氫氣 | 36 L/s | 40 L/s | 53 L/s | |
全轉(zhuǎn)速氣體流量(與推薦前級泵一起使用) | 風(fēng)冷(25 ℃) | 水冷(25 ℃,65 L/h) | ||
氮?dú)?/span> | 100 sccm | 100 sccm | ||
氬氣 | 70 sccm | 70 sccm | ||
壓縮比與前級耐壓 | 壓縮比 | 前級耐壓 | ||
氬氣 | > 1.0 x 1011 | 大于 14 mbar | ||
氮?dú)?/span> | ≥ 1.0 x 1011 | 大于 14 mbar | ||
He | 2.0 x 106 | 大于 12 mbar | ||
氫氣 | 5.0 x 104 | 大于 4 mbar | ||
采用推薦前級泵的極限真空 (5 m3/h) | 小于 8.0 × 10-10 mbar(小于 6.0 × 10-10 Torr) | |||
抽氣口法蘭 | CFF 4.5 英寸,ISO 63 | |||
CFF 2.75 英寸,KF 40 | ||||
前級管道法蘭 | KF16 | |||
轉(zhuǎn)速 | 81000 rpm(1350 Hz 驅(qū)動頻率) | |||
啟動時(shí)間 | 小于 2 分鐘 | |||
推薦的前級泵 | 機(jī)械: | Agilent DS-42/102 | ||
干式泵: | Agilent SH-110/IDP-3 | |||
工作位置 | 任意 | |||
操作環(huán)境溫度 | 5 ℃ 至 35 ℃ | |||
空氣的相對濕度 | 0 至 90%(非凝縮) | |||
烘烤溫度 | 進(jìn)樣口法蘭溫度 80 ℃(ISO 法蘭) | |||
進(jìn)樣口法蘭溫度 120 °C(CFF 法蘭) | ||||
潤滑油 | 持久潤滑 | |||
冷卻要求 | 氣流溫度:(環(huán)境溫度為 5 至 35 ℃) | |||
水(如果環(huán)境高于 35 ℃,需強(qiáng)制水冷) | ||||
水溫: | 15 ℃ 至 25 ℃ | |||
最小流量: | 65 L/h (0.30 GPM) | |||
柱壓: | 2 至 4 bar(45 至 75 psi) | |||
噪聲聲壓級 | 1 米內(nèi)全轉(zhuǎn)速時(shí),小于 40 dB(A) | |||
儲存溫度 | -40 ℃ 至 70 ℃ | |||
高度: | 3000 m | |||
重量 kg(磅) | 泵用 ISO 63 法蘭 | 2.05 kg | ||
| 泵用 CFF 4.5 英寸 | 3.50 kg | ||
| 泵用 CFF 2.75 英寸 | 3.34 kg | ||
| 泵用 KF 40 英寸 | 2.37 kg | ||
符合規(guī)范 | EMC | 61326-1 | ||
| 安全 (CE/CSA) 法規(guī) | DIR 2006/42/CE | ||
| ROHS | DIR 2011/65/EU |
抽速曲線圖