產(chǎn)品特點(diǎn)：
2 . 大行程移動平臺設(shè)計
采用6寸平臺設(shè)計，行程158×158mm，可適用于對應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測，也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。
3 . 高精度物鏡轉(zhuǎn)換器
轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計，轉(zhuǎn)動手感輕巧舒適，重復(fù)定位精度高，物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。
4 . 安全、穩(wěn)重的機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計
工業(yè)檢測級顯微鏡鏡體，低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機(jī)架，保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。
其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器，可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng)，長時間使用也不會使機(jī)架過熱。
參數(shù)配置
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)色差光學(xué)系統(tǒng) |
觀察方式 | 明場/暗場/偏光/DIC |
觀察筒 | 30°傾斜，正像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50-76mm，分光比100:0或0:100 |
30°傾斜，倒像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50-76mm，三檔分光比0:100；20:80；100:0 | |
5-35°傾角可調(diào)，正像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50-76mm，單邊視度調(diào)節(jié)：±5屈光度，兩檔分光比100:0或0:100 | |
目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/22mm，視度可調(diào)，可帶測微尺 |
高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/23mm，視度可調(diào) | |
高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/25mm，視度可調(diào) | |
高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/26.5mm，視度可調(diào) | |
高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL15X/16mm | |
物鏡 | 無限遠(yuǎn)長工作距平場明暗場消色差金相物鏡5X-DIC、10-DICX、20X-DIC、50X、100X（選配） |
明暗場半復(fù)消金相物鏡5X、10X、20X、50X、100X（選配） | |
轉(zhuǎn)換器 | 5孔內(nèi)傾式明暗場轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽 |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 反射式機(jī)架 , 前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程 33mm, 微調(diào)精度 0.001mm. 帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置.內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng) , 帶光亮度設(shè)定按鈕與復(fù)位按扭 |
透、反射式機(jī)架 , 前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程 33mm, 微調(diào)精度 0.001mm. 帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置.內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)，5W暖色LED透射光照明系統(tǒng)，上下光獨(dú)立可控 | |
載物臺 | 6英寸三層機(jī)械移動平臺，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；平臺面積445mm×240mm，移動范圍：158mm×158mm；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動；玻璃載物臺板（反射用） |
6英寸三層機(jī)械移動平臺，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；平臺面積445mm×240mm，反射照明移動范圍：158mm×158mm；透射照明移動范圍：100×100mm；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動；玻璃載物臺板（透、反射用） | |
照明系統(tǒng) | 明暗場反射照明器 , 帶可變孔徑光闌，視場光闌 , 中心均可調(diào) ；帶明暗場照明切換裝置 ；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
攝影攝像 | 0.35X/0.5X/0.65X/1X攝像接筒，C型接口，可調(diào)焦 |
其他 | 起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 ；反射用干涉濾色片組 ；高精度測微尺 ；DIC 微分干涉組件 |
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